公开(公告)号：CN1326702C

公开(公告)日：2007-07-18

申请号：CN200410081989.X

申请日：2004-12-15

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 牛岛隆志 ,  山崎刚生 ,  照井真 ,  早川和宏

IPC: B41J2/14 ,  B41J2/16

CPC classification number: B41J2/1603 ,  B41J2/14145 ,  B41J2/1623 ,  B41J2/1628 ,  B41J2/1629 ,  B41J2/1631 ,  B41J2/1632 ,  B41J2/1634 ,  B41J2/1642 ,  B41J2/1643 ,  B41J2/1646 ,  Y10T428/24331 ,  Y10T428/24479 ,  Y10T428/24562 ,  Y10T428/2457 ,  Y10T428/24612

Abstract: 一种梁，该梁具有一个由单晶硅制成的基底材料和至少一个凸起，凸起被一体制成，凸起的至少一端受到支撑，凸起包括两个具有定向平面(111)的表面，该梁包括：一个底面，该底面位于一个与基底材料共面的平面内；一个沟槽，该沟槽从底面贯穿到凸起的顶部；和一个保护部件，该保护部件对各向异性晶体蚀刻液体具有耐受性并覆盖着沟槽的一个内壁。

公开(公告)号：CN1628982A

公开(公告)日：2005-06-22

申请号：CN200410081989.X

申请日：2004-12-15

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 牛岛隆志 ,  山崎刚生 ,  照井真 ,  早川和宏

IPC: B41J2/14 ,  B41J2/16

CPC classification number: B41J2/1603 ,  B41J2/14145 ,  B41J2/1623 ,  B41J2/1628 ,  B41J2/1629 ,  B41J2/1631 ,  B41J2/1632 ,  B41J2/1634 ,  B41J2/1642 ,  B41J2/1643 ,  B41J2/1646 ,  Y10T428/24331 ,  Y10T428/24479 ,  Y10T428/24562 ,  Y10T428/2457 ,  Y10T428/24612

Abstract: 一种梁，该梁具有一个由单晶硅制成的基底材料和至少一个凸起，凸起被一体制成，凸起的至少一端受到支撑，凸起包括两个具有定向平面(111)的表面，该梁包括：一个底面，该底面位于一个与基底材料共面的平面内；一个沟槽，该沟槽从底面贯穿到凸起的顶部；和一个保护部件，该保护部件对各向异性晶体蚀刻液体具有耐受性并覆盖着沟槽的一个内壁。