公开(公告)号：CN114967320A

公开(公告)日：2022-08-30

申请号：CN202210171656.4

申请日：2022-02-24

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 娄明吉 ,  吉田贵裕 ,  史蒂文·T·詹金斯 ,  小林谦一 ,  荒川达哉

IPC: G03F7/00

Abstract: 本发明涉及压印方法、压印光刻系统及物品制造方法。本公开提供对被支撑在可移动载台上的基板进行压印的方法和系统，所述方法和系统包括：将所述基板上的液体抗蚀剂与模板接触；以及利用第一组控制参数，使用反馈‑前馈控制处理将所述基板与所述模板对准。获得校准数据，并且增大所述抗蚀剂的至少一部分的粘度。在增大所述抗蚀剂的粘度之后，利用第二组控制参数，使用所述反馈‑前馈控制处理将所述基板与所述模板对准，基于所述校准数据确定所述第二组控制参数，并且固化所述模板下方的所述抗蚀剂。

公开(公告)号：CN114667485A

公开(公告)日：2022-06-24

申请号：CN202080078826.3

申请日：2020-10-27

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 娄明吉 ,  崔炳镇 ,  J·D·克莱因 ,  吉田贵裕 ,  S·T·詹金斯

IPC: G03F7/00 ,  B32B37/00 ,  B81C1/00 ,  B32B37/14 ,  G03F9/00

Abstract: 提供了用于控制其上支撑有基板的可移动的台架的位置的系统和方法。从传感器获得表示相对于物体上的标记的基板的位置的第一位置信息。基于所获得的第一位置来生成对准预测信息，其中，所生成的对准预测信息包括至少一个参数值。基于所获得的第一位置信息和所生成的对准预测信息来生成包括该至少一个参数值的第一轨迹信息。基于所生成的对准预测信息、第一轨迹信息和第二位置信息来生成第二轨迹信息，其中，第二位置信息表示可移动的台架的位置。基于第二轨迹信息来生成输出控制信号，并且使用输出控制信号基于所生成的输出信号来控制可移动的台架接近目标位置。