公开(公告)号：CN1740107A

公开(公告)日：2006-03-01

申请号：CN200510097749.3

申请日：2005-08-24

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 长谷川光利 ,  姬路俊明

IPC: C03B23/24

CPC classification number: C03C27/06 ,  C03B23/0252 ,  C03B23/0258 ,  C03B35/202 ,  C03C27/10 ,  H01J9/261 ,  H01J9/385 ,  H01J2329/00

Abstract: 提供一种外封壳的制造方法及其制造装置。在通过夹着支撑框把一对基板密接来形成气密容器的方法中，在减压气氛中使一个基板在密接之前翘曲，由此与另一基板分离，在减压气氛中开放气密容器内部，由此进行排气。此后，通过恢复翘曲来恢复两基板间的相对位置。因此，不产生两基板相对位置的偏离就能够实现气密容器内部的排气。

公开(公告)号：CN100349815C

公开(公告)日：2007-11-21

申请号：CN200510097749.3

申请日：2005-08-24

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 长谷川光利 ,  姬路俊明

IPC: C03B23/24

CPC classification number: C03C27/06 ,  C03B23/0252 ,  C03B23/0258 ,  C03B35/202 ,  C03C27/10 ,  H01J9/261 ,  H01J9/385 ,  H01J2329/00

Abstract: 提供一种外封壳的制造方法及其制造装置。在通过夹着支撑框把一对基板密接来形成气密容器的方法中，在减压气氛中使一个基板在密接之前翘曲，由此与另一基板分离，在减压气氛中开放气密容器内部，由此进行排气。此后，通过恢复翘曲来恢复两基板间的相对位置。因此，不产生两基板相对位置的偏离就能够实现气密容器内部的排气。