公开(公告)号：CN107305317B

公开(公告)日：2021-06-15

申请号：CN201710265042.1

申请日：2017-04-21

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 塩出吉宏

IPC: G03F7/00

Abstract: 本发明提供了一种压印装置、压印方法以及制造物品的方法，该压印装置通过使用模具在基板上形成压印材料的图案，该压印装置包括：控制单元，其被构造为对使模具变形为凸形并将模具与压印材料彼此接触的处理进行控制，其中，控制单元基于表示模具与基板之间的相对倾斜、与在模具与压印材料之间接触时使相对倾斜波动的力矩之间的关系的信息，确定目标相对倾斜，使得在模具与压印材料之间接触时产生的力矩落在允许范围内，并且在将相对倾斜设定为目标相对倾斜之后，开始模具与压印材料之间的接触。

公开(公告)号：CN101008792A

公开(公告)日：2007-08-01

申请号：CN200710004730.9

申请日：2007-01-26

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 塩出吉宏

IPC: G03F7/20 ,  G01J4/00 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/706 ,  G01J4/00 ,  G01J2009/0261 ,  G03F7/70566

Abstract: 本发明涉及测量方法。一种用于将具有不同偏振方向的多个线性偏振光束照射到目标光学系统上并用于测量目标光学系统的包含双折射量R和快轴Φ的偏振特性的方法包括以下步骤：将具有偏振方向角θ的线性偏振光束照射到目标光学系统上，并获得已透过目标光学系统的光束的重心量P；以及根据P＝－R·cos(2θ－Φ)或P＝R·cos(2θ－Φ)获得双折射量R和快轴Φ。

公开(公告)号：CN107305317A

公开(公告)日：2017-10-31

申请号：CN201710265042.1

申请日：2017-04-21

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 塩出吉宏

IPC: G03F7/00

CPC classification number: B29C43/021 ,  B29C43/58 ,  B29C2043/5808 ,  B29C2043/5833 ,  B29C2043/585 ,  B29C2043/5858 ,  G03F7/0002 ,  H01L21/67092 ,  H01L23/544

Abstract: 本发明提供了一种压印装置、压印方法以及制造物品的方法，该压印装置通过使用模具在基板上形成压印材料的图案，该压印装置包括：控制单元，其被构造为对使模具变形为凸形并将模具与压印材料彼此接触的处理进行控制，其中，控制单元基于表示模具与基板之间的相对倾斜、与在模具与压印材料之间接触时使相对倾斜波动的力矩之间的关系的信息，确定目标相对倾斜，使得在模具与压印材料之间接触时产生的力矩落在允许范围内，并且在将相对倾斜设定为目标相对倾斜之后，开始模具与压印材料之间的接触。

公开(公告)号：CN110888299A

公开(公告)日：2020-03-17

申请号：CN201910852935.5

申请日：2019-09-10

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 塩出吉宏

IPC: G03F7/00

Abstract: 本发明提供一种压印方法和物品制造方法。一种压印方法包括如下步骤：将压印材料以微滴布置在基板的投射区域上，使投射区域的一部分上的压印材料与模具的图案区域接触并且然后将该压印材料和该图案区域之间的接触区域扩大到投射区域的整个区域，以及固化压印材料。在布置步骤中，在从投射区域的所述一部分沿径向方向定位的多个局部区域中的每一个中，压印材料被布置成使得在平行于与径向方向正交的方向且其上存在多滴压印材料的线上的压印材料的定向滴密度小于在平行于径向方向且其上存在多滴压印材料的线上的压印材料的定向滴密度。