公开(公告)号：CN108701585A

公开(公告)日：2018-10-23

申请号：CN201780012426.0

申请日：2017-02-17

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 松岗洋一 ,  山本磨人 ,  东尚史 ,  寺岛茂 ,  前田敏宏 ,  米川雅见 ,  江本圭司 ,  中川一树

IPC: H01L21/027 ,  B29C33/72 ,  B29C59/02 ,  H01L21/304

CPC classification number: G03F7/70925 ,  G03F7/0002

Abstract: 提供通过在基板上的压印材料与模具接触的状态下固化压印材料来在基板(101)上形成图案的压印装置，其中，所述压印装置具有：基板卡盘(102)，其具有用于保持基板的基板保持区域；周边部件(113)，其被布置为围绕由基板卡盘保持的基板的侧面；以及控制单元，其用于控制用于通过使用包括带电单元的清洁部件(170)来清洁周边部件的区域的至少一部分的清洁过程。所述清洁过程包括用于在带电单元面向周边部件的区域的所述至少一部分的状态下使清洁部件相对于周边部件移动使得所述区域中的微粒被带电单元吸引的操作。

公开(公告)号：CN108701585B

公开(公告)日：2023-09-26

申请号：CN201780012426.0

申请日：2017-02-17

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 松岗洋一 ,  山本磨人 ,  东尚史 ,  寺岛茂 ,  前田敏宏 ,  米川雅见 ,  江本圭司 ,  中川一树

IPC: H01L21/027 ,  B29C33/72 ,  B29C59/02 ,  H01L21/304

Abstract: 提供通过在基板上的压印材料与模具接触的状态下固化压印材料来在基板(101)上形成图案的压印装置，其中，所述压印装置具有：基板卡盘(102)，其具有用于保持基板的基板保持区域；周边部件(113)，其被布置为围绕由基板卡盘保持的基板的侧面；以及控制单元，其用于控制用于通过使用包括带电单元的清洁部件(170)来清洁周边部件的区域的至少一部分的清洁过程。所述清洁过程包括用于在带电单元面向周边部件的区域的所述至少一部分的状态下使清洁部件相对于周边部件移动使得所述区域中的微粒被带电单元吸引的操作。