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公开(公告)号：CN101499419A
公开(公告)日：2009-08-05
申请号：CN200910009701.0
申请日：2009-01-23
Applicant: 佳能安内华工程股份有限公司 , 佳能安内华股份有限公司
IPC: H01L21/324
CPC classification number: H01L21/68742 , F27B17/0025 , H01L21/67098 , H01L21/67115
Abstract: 本发明涉及衬底加热设备、加热方法以及半导体装置制造方法。本发明涉及一种具有加热衬底的传导加热器的衬底加热设备，其包括布置在传导加热器中并连接至丝极电源以产生热电子的丝极、以及使热电子在丝极和传导加热器之间加速的加速电源。丝极具有沿着与衬底同心的内圆以预定间隔形成的内周边部分、在与内圆同心且具有大于内圆的直径的外圆上以预定间隔形成的外周边部分、和通过连接各个内周边部分的端点与相对应的外周边部分的端点而形成的区域。
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公开(公告)号：CN103069559B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201080068599.2
申请日：2010-08-17
Applicant: 佳能安内华股份有限公司
IPC: H01L21/677 , B25J9/06
CPC classification number: B25J11/00 , B25J9/107 , B25J11/0095 , H01L21/67742 , H01L21/68707
Abstract: 包括第一基片保持器和第二基片保持器（该第一基片保持器和第二基片保持器能够各自保持基片）的基片输送设备，包括：第一驱动臂，该第一驱动臂有第一和第二端部部分，并可随着第一驱动轴的旋转而旋转；第二驱动臂，该第二驱动臂有与第一端部部分间隔开第一距离的第三端部部分和与第二端部部分间隔开第二距离的第四端部部分，并可随着第二驱动轴的旋转而旋转，第二驱动轴与第一驱动轴同轴；两个第一从动臂，这两个第一从动臂与第一基片保持器连接；以及两个第二从动臂，这两个第二从动臂与第二基片保持器连接。
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公开(公告)号：CN103069559A
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201080068599.2
申请日：2010-08-17
Applicant: 佳能安内华股份有限公司
IPC: H01L21/677 , B25J9/06
CPC classification number: B25J11/00 , B25J9/107 , B25J11/0095 , H01L21/67742 , H01L21/68707
Abstract: 包括第一基片保持器和第二基片保持器（该第一基片保持器和第二基片保持器能够各自保持基片）的基片输送设备，包括：第一驱动臂，该第一驱动臂有第一和第二端部部分，并可随着第一驱动轴的旋转而旋转；第二驱动臂，该第二驱动臂有与第一端部部分间隔开第一距离的第三端部部分和与第二端部部分间隔开第二距离的第四端部部分，并可随着第二驱动轴的旋转而旋转，第二驱动轴与第一驱动轴同轴；两个第一从动臂，这两个第一从动臂与第一基片保持器连接；以及两个第二从动臂，这两个第二从动臂与第二基片保持器连接。
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公开(公告)号：CN101499419B
公开(公告)日：2011-07-13
申请号：CN200910009701.0
申请日：2009-01-23
Applicant: 佳能安内华股份有限公司
IPC: H01L21/324
CPC classification number: H01L21/68742 , F27B17/0025 , H01L21/67098 , H01L21/67115
Abstract: 本发明涉及一种具有加热衬底的传导加热器的衬底加热设备，其包括布置在传导加热器中并连接至丝极电源以产生热电子的丝极、以及使热电子在丝极和传导加热器之间加速的加速电源。丝极具有沿着与衬底同心的内圆以预定间隔形成的内周边部分、在与内圆同心且具有大于内圆的直径的外圆上以预定间隔形成的外周边部分、和通过连接各个内周边部分的端点与相对应的外周边部分的端点而形成的区域。
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