公开(公告)号：CN111133551B

公开(公告)日：2023-03-07

申请号：CN201780095040.0

申请日：2017-09-22

Applicant: 住友重机械工业株式会社

Inventor： 日朝俊一 ,  谷口爱实

IPC: H01J27/20 ,  H01J37/08

Abstract: 离子源装置(10A)具备：阴极电极(13b、13b)，释放电子；阳极电极(13a)，具有引出离子的狭缝(13aa)；引出电极(15)，沿着从阳极电极(13a)引出的离子的引出方向与阳极电极(13a)分开配置，以便在与阳极电极(13a)之间形成电位差；及中间电极(16)，设置于阳极电极(13a)与引出电极(15)之间。阳极电极(13a)与中间电极(16)之间的第1电位差(ΔV1)大于阳极电极(13a)与引出电极(15)之间的第2电位差(ΔV2)。

公开(公告)号：CN111133551A

公开(公告)日：2020-05-08

申请号：CN201780095040.0

申请日：2017-09-22

Applicant: 住友重机械工业株式会社

Inventor： 日朝俊一 ,  谷口爱实

IPC: H01J27/20 ,  H01J37/08

Abstract: 离子源装置(10A)具备：阴极电极(13b、13b)，释放电子；阳极电极(13a)，具有引出离子的狭缝(13aa)；引出电极(15)，沿着从阳极电极(13a)引出的离子的引出方向与阳极电极(13a)分开配置，以便在与阳极电极(13a)之间形成电位差；及中间电极(16)，设置于阳极电极(13a)与引出电极(15)之间。阳极电极(13a)与中间电极(16)之间的第1电位差(ΔV1)大于阳极电极(13a)与引出电极(15)之间的第2电位差(ΔV2)。