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公开(公告)号：CN1628373A
公开(公告)日：2005-06-15
申请号：CN02829172.7
申请日：2002-11-22
Applicant: 住友重机械工业株式会社
IPC: H01L21/304
CPC classification number: H01L21/67051 , B08B3/02
Abstract: 本发明提供一种气雾剂清洗装置及其控制方法，其中，设置了气雾剂备用状态，使冷冻装置保持运转状态地对气雾剂生成气体的供给加以中断，从而能够实现缩短气雾剂生成时间和减少氩气和氮气的消耗量。
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