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公开(公告)号:CN116626400A
公开(公告)日:2023-08-22
申请号:CN202310026837.2
申请日:2023-01-09
Applicant: 住友电气工业株式会社 , 国立大学法人北海道大学
Abstract: 本发明的图案生成装置、图案生成方法以及记录介质高效地生成图案。图案生成装置具备处理器,该处理器执行基于生成条件来生成与设于电介质层的表面的金属层的图案对应的图案数据的处理;判定所生成的所述图案数据是否满足规定条件;在判定为不满足所述规定条件时,返回至生成所述图案数据的处理;在判定为满足所述规定条件时,基于所述图案数据来进行电磁场分析,由此计算向所述图案的第一部位输入高频信号、从所述图案的第二部位输出高频信号时的所述图案或具有所述图案的元件或者电路的特性;判定计算出的所述特性是否在目标范围内;在判定为所述计算出的特性不在目标范围内时,变更所述生成条件;在变更所述生成条件后,返回至生成所述图案数据的处理。