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公开(公告)号：CN119731367A
公开(公告)日：2025-03-28
申请号：CN202380062783.3
申请日：2023-08-09
IPC: C23C14/34 , C04B35/495 , H10N30/076 , H10N30/097 , H10N30/853
Abstract: 本发明提供一种溅射靶材，其由包含钾、钠、铌以及氧的氧化物的烧结体构成，密度为4.2g/cm3以下，维氏硬度为30以上且200以下，在溅射面观察到的多个晶粒的面积平均粒径为3.0μm以上。
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