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发明公开
氧化物烧结体、氧化物混合物、它们的制造方法以及使用它们的靶无效

公开(公告)号：CN102762518A

公开(公告)日：2012-10-31

申请号：CN201180010234.9

申请日：2011-02-17

Applicant: 住友化学株式会社 , 学校法人大阪产业大学

Inventor： 中田邦彦 , 吉川岳 , 中村吉伸 , 铃木晶雄 , 堀田翔平

IPC: C04B35/453 , C23C14/34

Abstract: 本发明的氧化物烧结体是实质上由锌、钛以及氧构成的氧化物烧结体，钛相对于锌与钛的合计的原子数比Ti/(Zn+Ti)超过0.02且在0.1以下。本发明的氧化物混合物，由氧化锌以及氧化钛构成，钛相对于锌与钛的合计的原子数比Ti/(Zn+Ti)超过0.02且在0.1以下。通过使用本发明的氧化物烧结体或氧化物混合物，能够形成具有优良的导电性和化学耐久性的氧化锌系透明导电膜。

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