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公开(公告)号:CN103260816A
公开(公告)日:2013-08-21
申请号:CN201180061621.5
申请日:2011-12-22
Applicant: 住友化学株式会社 , 哈德润姆股份有限公司
CPC classification number: B29D11/00788 , B23K2103/42 , B23K2103/50
Abstract: 本发明提供输出变动被抑制且照射的激光输出得以稳定的激光照射装置及激光照射方法。为切断薄膜而对该薄膜照射激光的激光照射装置(10)包括:振荡发生激光L的激光振荡器(1)、将由激光振荡器(1)振荡发生的激光分为两束,并将作为反射光L1的激光照射于薄膜的光束分离器(3)、测定作为透射光L2的激光的强度的功率传感器(4)、及根据测定的强度值算出激光振荡器(1)的输出值,判断相对于设定值的上述输出值的大小,并进行校正以使激光振荡器(1)的输出值接近于设定值的处理台(5)。