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公开(公告)号:CN1680486A
公开(公告)日:2005-10-12
申请号:CN200510068535.3
申请日:2005-04-01
Applicant: 住友化学株式会社 , 东友FINE-CHEM株式会社
CPC classification number: C08K3/34 , Y10T428/10 , Y10T428/1086 , Y10T428/31786 , Y10T428/31855
Abstract: 一种低热膨胀系数的有机树脂组合物,包含(a)一种有机树脂和(b)一种含有碱金属和碱土金属的无机硅酸盐,其中无机硅酸盐中碱金属和碱土金属的总量为1000ppm或更低。
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公开(公告)号:CN1680486B
公开(公告)日:2013-03-27
申请号:CN200510068535.3
申请日:2005-04-01
Applicant: 住友化学株式会社 , 东友FINE-CHEM株式会社
CPC classification number: C08K3/34 , Y10T428/10 , Y10T428/1086 , Y10T428/31786 , Y10T428/31855
Abstract: 有机树脂组合物及其溶液和成型制品一种低热膨胀系数的有机树脂组合物,包含(a)一种有机树脂和(b)一种含有碱金属和碱土金属的无机硅酸盐,其中无机硅酸盐中碱金属和碱土金属的总量为1000ppm或更低。
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公开(公告)号:CN1637621A
公开(公告)日:2005-07-13
申请号:CN200410102993.X
申请日:2004-12-29
Applicant: 东友FINE-CHEM株式会社 , 东友STI株式会社
IPC: G03F7/32 , G02F1/1335 , G02B5/20
Abstract: 本发明涉及含有下述成分的感放射线性组合物用显影液,所述成分为化学式1表示的非离子性表面活性剂、化学式2表示的非离子性表面活性剂、化学式3表示的非离子性表面活性剂、碱性化合物以及水。本发明的感放射线性组合物用显影液同时具有对滤色片光致抗蚀剂、黑底、间隙材料等感放射线性组合物的良好的显影性和图案重现性,能消除在喷雾等步骤中产生的泡沫在显影时的影响,具有低泡沫性且显影能力出色。
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