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发明公开
抗蚀剂组合物和用于生产抗蚀图案的方法无效

公开(公告)号：CN102890414A

公开(公告)日：2013-01-23

申请号：CN201210251271.5

申请日：2012-07-19

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 市川幸司 , 山口训史 , 铃木雄喜

IPC: G03F7/004 , G03F7/00

CPC classification number: G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0397 , G03F7/2041

Abstract: 本发明公开了抗蚀剂组合物和用于生产抗蚀图案的方法，所述抗蚀剂组合物具有：具有由式(I)表示的结构单元的树脂，在碱性水溶液中不可溶或难溶但是通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液并且不包含由式(I)表示的结构单元的树脂，和具有酸不稳定基团的酸生成剂，其中R1、A1、A13、A14、X12如说明书中限定。

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