光源装置
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101430996B

    公开(公告)日:2012-02-29

    申请号:CN200810173855.9

    申请日:2008-10-29

    CPC classification number: H01J61/54 H01J61/86 H05B41/2886 Y02B20/19

    Abstract: 提供一种光源装置,不损伤反射镜的反射面,不降低反射率,并且能够充分确保供电端子与收容光源装置的框体之间的绝缘距离,不存在触电的危险,安全性高。本发明的光源装置包括放电灯、反射镜、底座、及配置在底座内的起动辅助光源,其特征在于,在底座分离地设置有第一供电端子和第二供电端子,起动辅助光源在放电容器的外表面上分离地配置有第一外部电极和第二外部电极,与放电灯的一个外部引线连接的第一灯供电线、和与起动辅助光源的第一外部电极连接的第一辅助光源供电线,连接到第一供电端子,与放电灯的另一个外部引线连接的第二灯供电线、和与起动辅助光源的第二外部电极连接的第二辅助光源供电线,连接到第二供电端子。

    光源装置
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101430996A

    公开(公告)日:2009-05-13

    申请号:CN200810173855.9

    申请日:2008-10-29

    CPC classification number: H01J61/54 H01J61/86 H05B41/2886 Y02B20/19

    Abstract: 提供一种光源装置,不损伤反射镜的反射面,不降低反射率,并且能够充分确保供电端子与收容光源装置的框体之间的绝缘距离,不存在触电的危险,安全性高。本发明的光源装置包括放电灯、反射镜、底座、及配置在底座内的起动辅助光源,其特征在于,在底座分离地设置有第一供电端子和第二供电端子,起动辅助光源在放电容器的外表面上分离地配置有第一外部电极和第二外部电极,与放电灯的一个外部引线连接的第一灯供电线和与起动辅助光源的第一外部电极连接的第一辅助光源供电线,连接到第一供电端子,与放电灯的另一个外部引线连接的第二灯供电线和与起动辅助光源的第二外部电极连接的第二辅助光源供电线,连接到第二供电端子。

    光源单元及光照射装置
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN119828417A

    公开(公告)日:2025-04-15

    申请号:CN202411356185.X

    申请日:2024-09-27

    Abstract: 本发明提供一种光源单元以及光照射装置,能够增加相对于设置面积的有效反射面的面积,并且抑制反射面的曲率的变形。光源单元具备:光源;以及凹面状的反射镜,配置于光源的周围,反射镜具备:反射面,将从光源放射的光反射并向光照射方向照射;开口部,位于反射面的光照射方向的前端;以及孔部,位于反射面的光照射方向的后端,反射面具备沿着旋转抛物面的曲面部以及沿着反射镜的光轴的平面部,平面部从开口部朝向孔部设置于从开口部到孔部的距离的30%以下的范围。

    放电灯装置
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102479666A

    公开(公告)日:2012-05-30

    申请号:CN201110316461.6

    申请日:2011-10-18

    CPC classification number: H01J61/54 H01J61/82

    Abstract: 本发明提供一种放电灯装置,该放电灯装置由以下构成:高压放电灯,在放电空间内具有一对主电极;起动辅助光源(UV电池),仅在该高压放电灯点灯起动时,向该放电空间放射紫外光;以及供电装置,使该高压放电灯及UV电池点灯,在该放电灯装置中,提供一种即使低压下也可使放电灯稳定地点灯起动的构造,其特征在于,上述供电装置在上述高压放电灯点灯起动时产生起动用高压,之后转换到平常点灯用电压,上述UV电池在上述起动用高压下发光,但在平常点灯用电压下不发光,且该UV电池至少包括起动用稀有气体、及作为发光物质的一氧化碳(CO)。

    放电灯
    5.
    外观设计

    公开(公告)号:CN305890020S

    公开(公告)日:2020-06-30

    申请号:CN202030029849.8

    申请日:2020-01-16

    Designer: 鹈饲俊哉

    Abstract: 1.本外观设计产品的名称:放电灯。
    2.本外观设计产品的用途:本外观设计产品用作内置在光刻曝光设备的光源。
    3.本外观设计产品的设计要点:在于形状与图案的结合。
    4.最能表明设计要点的图片或照片:立体图1。

Patent Agency Ranking