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公开(公告)号：CN104950521B
公开(公告)日：2019-03-19
申请号：CN201510089297.8
申请日：2015-02-27
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: G02F1/1337
Abstract: 在将载置于工作台的基板输送到偏振光的照射面并对基板照射偏振光的偏振光照射装置中，能够检测偏摇的产生，能够有助于成品率的改善。光照射器(1)经由偏振元件(12)对照射面(I)照射偏振光，通过由第一移动机构(22)使工作台(21)移动来使载置于工作台(21)的基板(S)通过照射面(I)并进行输送。由激光干涉计(4)构成的偏摇检测构件在一直直线移动到照射面(I)的位置时检测工作台(21)的偏摇。偏摇是围绕与照射面(I)垂直的轴的旋转。
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公开(公告)号：CN101025572B
公开(公告)日：2010-11-10
申请号：CN200710005750.8
申请日：2007-02-13
Applicant: 优志旺电机株式会社
Inventor： 田中米太
IPC: G03F7/20 , H01L21/027 , H01L21/00
Abstract: 提供一种保持体，可对用于曝光装置等的大型掩模或平面镜等平板进行防止自重变形的保持。该保持体由保持平板(6)的多个棒状保持部件构成，其特征为，上述保持部件构成为与平板(6)相接的部分为平面，并且上述保持部件包括：第一保持部件(2)，在偏转、转动及起伏移动被允许的状态下，相对于保持体的基座(4)在1处被支持；第二保持部件(3)，在可进行转动与在第二保持部件延伸方向膨胀的状态下，起伏及偏转被限制，并相对于保持体的基座(4)在2处被支持。
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公开(公告)号：CN1991593B
公开(公告)日：2011-12-07
申请号：CN200610172712.7
申请日：2006-12-28
Applicant: 优志旺电机株式会社
Inventor： 田中米太
IPC: G03F7/20 , H01L21/683 , H01L21/027
Abstract: 一种支持机构，通过多个支持体支持掩模等平板时，可以补偿自重变形，并在保持平面的状态下对平板进行支持。在载台基座(11)上设置合计4个以上的高度不变的固定式支持体(1)、及高度可变的变位式支持体(2)。固定式支持体(1)具有通过旋转轴承安装在台座上的真空吸附部。变位式支持体(2)具有：使轴上下运动的气缸；通过旋转轴承安装在轴顶端的真空吸附部；限制轴的动作并固定高度的单元。由固定式支持体(1)的真空吸附部从背面保持掩模(20)，并在3点支持掩模(20)，并且对变位式支持体(2)的气缸只施加抵消掩模(20)自重变形的推力，并将掩模(20)顶起固定在所述位置，并由真空吸附部从背面保持掩模(20)。
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公开(公告)号：CN101017331A
公开(公告)日：2007-08-15
申请号：CN200710005462.2
申请日：2007-02-08
Applicant: 优志旺电机株式会社
Inventor： 田中米太
IPC: G03F7/20 , H01L21/027
Abstract: 本发明提供一种XYθ移动载台，即使对平板施加偏负载也不会产生摆动。一种XYθ移动载台，具有保持工件(9)的板(6)，板(6)可在板面上正交的XY方向及相对于上述板面正交的轴周围的θ转动方向移动，其特征为，具备：载台基座(1)；推力产生单元(2)，固定在载台基座(1)上并具有产生移动磁场的磁极；固定在载台基座(1)上的3个基准支持部件(3)；固定在载台基座(1)上的1个以上的辅助支持部件(4)，板(6)由3个基准支持部件(3)及1个以上的辅助支持部件(4)支持，并且在与保持工件(9)的面的相反侧的面上，设有形成了围棋盘格子状的凸极的平面形的台板(8)，并通过推力产生单元(2)驱动。
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公开(公告)号：CN104950521A
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：CN201510089297.8
申请日：2015-02-27
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: G02F1/1337
CPC classification number: G02F1/133788
Abstract: 在将载置于工作台的基板输送到偏振光的照射面并对基板照射偏振光的偏振光照射装置中，能够检测偏摇的产生，能够有助于成品率的改善。光照射器(1)经由偏振元件(12)对照射面(I)照射偏振光，通过由第一移动机构(22)使工作台(21)移动来使载置于工作台(21)的基板(S)通过照射面(I)并进行输送。由激光干涉计(4)构成的偏摇检测构件在一直直线移动到照射面(I)的位置时检测工作台(21)的偏摇。偏摇是围绕与照射面(I)垂直的轴的旋转。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1978983B
公开(公告)日：2011-05-18
申请号：CN200610153125.3
申请日：2006-12-07
Applicant: 优志旺电机株式会社
Abstract: 本发明的目的是为了提供一种光照射装置以及可很好的适用于该光照射装置的光源灯，该光照射装置具备形成有冷却风路的光照射器，能够增大对被处理对象物的光照射量，可谋求处理效率提升，并且即使不大幅地增加冷却风的风量亦可获得充分的冷却功能。该该光照射装置具备光照射器，该光照射器在以剖面形状为圆形的棒状光源灯的管轴与具有反射面的槽状反射镜的第1焦点位置一致的状态下被配设的，在光源灯点灯时，由冷却风将光源灯及反射镜冷却，在相对光照射方向的光源灯的后方侧形成有与由反射镜包围的空间连通的、用来使冷却风流通的冷却风路，在光源灯的与冷却风路开口相对置的外表面区域形成有将由该光源灯所放射的光予以反射的反射膜。
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公开(公告)号：CN1991592B
公开(公告)日：2010-05-19
申请号：CN200610172532.9
申请日：2006-12-27
Applicant: 优志旺电机株式会社
Inventor： 田中米太
IPC: G03F7/20 , H01L21/027
Abstract: 本发明提供一种具备即使工件载物台大型化、对于移动机构也不会造成过度的负载，可顺利动作的Z方向移动机构的载物台装置。将滚珠螺杆(2b、2c)可摆动地安装在下端的台座(5a～5c)的周围，将滚珠螺杆(2a)固定在载物台基座(10)上。通过电动机(6a～6c)旋转滚珠螺杆(2a～2c)时，使移动体(4a～4c)沿着滚珠螺杆(2a～2c)移动，经由球面轴承将安装在移动体上的板(1)在Z轴方向(高度方向)移动而定位。在板上设有保持工件用的工件载物台。并且，旋转方向限制部(7)被安装在滚珠螺杆(2c)上，限制滚珠螺杆(2c)的倾斜量。另外，设置有板在定位于Z轴方向后不使板移动用的滚珠螺杆限位部(8)。
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公开(公告)号：CN101162367A
公开(公告)日：2008-04-16
申请号：CN200710180713.0
申请日：2007-10-11
Applicant: 优志旺电机株式会社
Inventor： 田中米太
IPC: G03F7/20 , H01L21/027
Abstract: 本发明提供可提升曝光精度，重量轻，制造成本也便宜，且将工作台作成可移动在平面的载物台装置。一种载物台装置，其特征为，包括：工作台(5)，具有：蜂窝状芯(7)，被安装于该蜂窝状芯的(7)下面、由形成有凸极的磁性体所构成的台板(8)，及被安装于上述蜂窝状芯(7)的上面而吸附保持工件(12)、由与上述台板(8)不同材质所构成的吸附板(6)；支承构件(3、4)，通过空气浮起支承上述工作台(5)；及推力产生装置(2)，具有产生将上述工作台(5)在平面内移动的移动磁场的磁极，该载物台装置通过空气浮起工作台(5)并使其可在平面内移动。
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公开(公告)号：CN100339950C
公开(公告)日：2007-09-26
申请号：CN200310101348.1
申请日：2003-10-15
Applicant: 优志旺电机株式会社
Inventor： 田中米太
IPC: H01L21/027 , H01L21/68 , G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70716
Abstract: 本发明提供一种通过容易的方法就能得到台板的良好的平面度稳定性的小型平面载物台装置。其特征为，具有平面的台板通过由3个支承部件构成的固定式支承体，以及变位式支承体而被支承，该变位式支承体在该固定式支承体形成的支承点以外的位置上形成支承点，当从上方施加负荷时，通过向与台板的平面垂直的下方移动来变位、并且能够将所选择的一个变位状态进行保持。
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公开(公告)号：CN1987661A
公开(公告)日：2007-06-27
申请号：CN200610170146.6
申请日：2006-12-22
Applicant: 优志旺电机株式会社
Inventor： 田中米太
Abstract: 本发明提供一种平面载物台装置，不使用重的定盘，也可以使平面载物台表面保持高精度的平面，装置重量轻，且制作成本也便宜。由支承构件(10)在3处以上支承载置工件用的平面板(1)。并且，设置将此平面板(1)沿XY轴方向移动的驱动机构。上述支承构件(10)具备与平面板(1)相对置配置的空气轴承，通过该支承构件(10)使上述平面板(1)浮起，并且，用任意的推力使平面板(1)沿与该平面板(1)的平面相垂直的方向位移。而且，使平面板的位移状态保持被选择的位移状态，使上述平面板的载置工件的面保持水平且平面。
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