公开(公告)号：CN102419516A

公开(公告)日：2012-04-18

申请号：CN201110222281.1

申请日：2011-08-04

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 仲田重范 ,  川村直树

IPC: G03F7/20 ,  G02B5/30

Abstract: 本发明提供能在掩模的图案中形成忠实且析像度高的图案的光照射装置和光照射方法。本发明的光照射装置，其特征在于：具备：光射出部，所述光射出部具有将多个光源元件在一个方向上并排地配置而构成的光源元件列，所述光源元件由短弧型放电灯、和以包围该放电灯的方式配置的将来自该放电灯的光反射的反射体构成；和掩模，所述掩模将分别在与上述一个方向垂直的方向上延伸的线状的多个遮光部和多个透光部在上述一个方向上交替并排地配置而构成，来自上述光射出部的光经上述掩模而照射被照射物。

公开(公告)号：CN102419516B

公开(公告)日：2015-01-28

申请号：CN201110222281.1

申请日：2011-08-04

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 仲田重范 ,  川村直树

IPC: G03F7/20 ,  G02B5/30

Abstract: 本发明提供能在掩模的图案中形成忠实且析像度高的图案的光照射装置和光照射方法。本发明的光照射装置，其特征在于：具备：光射出部，所述光射出部具有将多个光源元件在一个方向上并排地配置而构成的光源元件列，所述光源元件由短弧型放电灯、和以包围该放电灯的方式配置的将来自该放电灯的光反射的反射体构成；和掩模，所述掩模将分别在与上述一个方向垂直的方向上延伸的线状的多个遮光部和多个透光部在上述一个方向上交替并排地配置而构成，来自上述光射出部的光经上述掩模而照射被照射物。