公开(公告)号：CN102473585B

公开(公告)日：2016-05-18

申请号：CN201080027548.5

申请日：2010-06-29

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 中村雅规 ,  奥村宽

IPC: H01J65/00 ,  B01J19/08 ,  B08B7/00 ,  H01L21/304 ,  H05H1/24

CPC classification number: H01J65/046 ,  H05H1/2406 ,  H05H2001/2412

Abstract: 提供一种照射装置，得到高清洁处理能力并且对于具有键能量高的化学键的有机化合物也能够可靠地除去。具备：准分子灯(110)，具有放电容器(111)以及一对电极(112、113)；和等离子放电用电极(125)，经由电介质与一个电极(112)对置配置，经由一个电极(112)以及等离子放电用电极(125)形成等离子产生电路，通过对准分子灯(110)的一对电极之间(112、113)施加的高频电场在放电容器(111)内产生准分子放电，并且在准分子灯(110)和等离子放电用电极(125)之间流过等离子产生用反应气体的状态下，通过对一个电极(112)和等离子放电用电极(125)之间施加的高频电场产生等离子放电。

公开(公告)号：CN119495556A

公开(公告)日：2025-02-21

申请号：CN202410824200.2

申请日：2024-06-25

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 奥村宽 ,  山森贤治 ,  小林亮 ,  大图将人

IPC: H01J61/30 ,  H01J61/52 ,  H01J5/02 ,  H01L21/67

Abstract: 提供消除框体的挠曲所引起的问题的光处理装置。光处理装置具备：对沿输送路径输送的被处理体照射紫外光的光源；框体，在内部具有所述光源，并且具有搬入或者搬出所述被处理体的开口；以及减少包围所述开口的所述框体的热挠曲的热挠曲减少部。

公开(公告)号：CN102473585A

公开(公告)日：2012-05-23

申请号：CN201080027548.5

申请日：2010-06-29

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 中村雅规 ,  奥村宽

IPC: H01J65/00 ,  B01J19/08 ,  B08B7/00 ,  H01L21/304 ,  H05H1/24

CPC classification number: H01J65/046 ,  H05H1/2406 ,  H05H2001/2412

Abstract: 提供一种照射装置，得到高清洁处理能力并且对于具有键能量高的化学键的有机化合物也能够可靠地除去。具备：准分子灯(110)，具有放电容器(111)以及一对电极(112、113)；和等离子放电用电极(125)，经由电介质与一个电极(112)对置配置，经由一个电极(112)以及等离子放电用电极(125)形成等离子产生电路，通过对准分子灯(110)的一对电极之间(112、113)施加的高频电场在放电容器(111)内产生准分子放电，并且在准分子灯(110)和等离子放电用电极(125)之间流过等离子产生用反应气体的状态下，通过对一个电极(112)和等离子放电用电极(125)之间施加的高频电场产生等离子放电。