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公开(公告)号：CN117832124A
公开(公告)日：2024-04-05
申请号：CN202311249783.2
申请日：2023-09-26
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: H01L21/67
Abstract: 提供对以往的光加热装置进行了改善的光加热装置。光加热装置具备：多个加热源，对被处理基板进行光加热；多个光透过容器，供所述加热源插入，使来自所述加热源的光透过；真空腔室，具有能够将所述被处理基板配置于内部的壳体，所述壳体在与配置于所述内部的所述被处理基板对向的位置具有供所述多个光透过容器插入的孔，构成所述多个加热源的加热源分别具有至少一个发光元件，从所述多个加热源经由向所述孔插入且从所述壳体朝向所述内部突出的所述多个光透过容器而朝向配置于所述真空腔室内的所述被处理基板照射光。
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