短弧型放电灯
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101964296B

    公开(公告)日:2015-01-21

    申请号:CN201010224695.3

    申请日:2010-07-05

    CPC classification number: H01J61/86 H01J61/0732

    Abstract: 本发明提供一种短弧型放电灯,其在发光管内相对配置一对阳极和阴极,提供了下述的电极结构:特别是在重复进行额定功率下的通常点灯和以比额定功率小的功率点灯的待机点灯的满载/待机点灯时,阳极前端中央部也不会比其周边环状部突出,并不产生电极材料的蒸发引起的灯的变黑。其特征在于,在阳极的前端面形成有凹部,在该凹部中插入有由与该阳极相同的材料构成的插入体,在该插入体的后端部和所述凹部之间形成有空间。

    激光加工方法及激光加工装置
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117320835A

    公开(公告)日:2023-12-29

    申请号:CN202280035783.X

    申请日:2022-03-15

    Inventor: 千贺岳人

    Abstract: 本发明提供能够在基材的表面形成多个微细的槽的激光加工方法及激光加工装置。本发明的激光加工方法及激光加工装置从相互分离地配置的多个激光出射端分别向空间中出射脉冲状的激光,使多束所述激光入射到聚光光学系统,所述聚光光学系统将分离间隔缩小成多束所述激光在被加工面相互不相交的程度,将从所述聚光光学系统出射的多束所述激光照射到所述被加工面,在第一方向上相互分离地形成产生烧蚀的多个聚光点,使所述聚光光学系统和所述被加工面沿着所述被加工面且在与所述第一方向正交的第二方向上相对移动,在所述被加工面上同时形成多个槽。

    短弧型放电灯
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102543650A

    公开(公告)日:2012-07-04

    申请号:CN201110418125.2

    申请日:2011-12-14

    Abstract: 本发明提供一种短弧型放电灯,在发光管内相对配置有阳极与阴极,特别是在反复以额定功率进行一般点灯及以小功率进行待机点灯的完全-待机点灯时,也能防止阳极前端中央部比其周边环状部突出,也不会因电极材料的蒸发而导致该灯产生黑化。其特征为:在上述阳极的前端中央部的开口内插入有插入体,在这些开口的内表面或插入体的外表面的至少任一方形成有沟槽或凹部,通过将该插入体接合至上述阳极的开口内,在上述阳极内形成空隙。

    短弧型放电灯
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101958221B

    公开(公告)日:2014-10-15

    申请号:CN201010224850.1

    申请日:2010-07-07

    CPC classification number: H01J61/86 H01J61/0732

    Abstract: 本发明提供一种短弧型放电灯,其在发光管内相对配置一对阳极和阴极,提供了下述的电极结构:特别是在重复进行额定功率下的通常点灯和以比额定功率小的功率点灯的待机点灯的满载/待机点灯时,阳极前端中央部也不会比其周边环状部突出,并不产生电极材料的蒸发引起的灯的变黑。其特征在于,在阳极前端的前端中央部和周边环状部之间夹持着由比电极材料的屈服应力小的材料构成的缓冲部件,通过该缓冲部件缓和前端中央部的热应力。

    光照射装置
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103943536A

    公开(公告)日:2014-07-23

    申请号:CN201410007906.6

    申请日:2014-01-07

    Inventor: 千贺岳人

    Abstract: 本发明提供一种光照射装置,防止因在一对外部电极间形成的电场的影响而在被处理体上的布线图案处发生异常放电而受损伤。该光照射装置具备在发光管的上下外表面上配置一对外部电极而成的准分子灯、及收容该准分子灯并且在下方设置有光取出开口的外壳,所述一对外部电极中的、与被处理体对置的下方的外部电极被施加低电压,上方的外部电极被施加高电压,其特征在于,在所述外壳的光取出开口上,在所述高压侧的外部电极与被处理体之间且沿着所述准分子灯的长度方向的位置,具备电场遮蔽部件,该电场遮蔽部件对在所述高压侧的外部电极与所述低压侧的外部电极之间形成的电场进行遮蔽。

    短弧型放电灯
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101964296A

    公开(公告)日:2011-02-02

    申请号:CN201010224695.3

    申请日:2010-07-05

    CPC classification number: H01J61/86 H01J61/0732

    Abstract: 本发明提供一种短弧型放电灯,其在发光管内相对配置一对阳极和阴极,提供了下述的电极结构:特别是在重复进行额定功率下的通常点灯和以比额定功率小的功率点灯的待机点灯的满载/待机点灯时,阳极前端中央部也不会比其周边环状部突出,并不产生电极材料的蒸发引起的灯的变黑。其特征在于,在阳极的前端面形成有凹部,在该凹部中插入有由与该阳极相同的材料构成的插入体,在该插入体的后端部和所述凹部之间形成有空间。

    光学装置
    7.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100550280C

    公开(公告)日:2009-10-14

    申请号:CN200410035169.7

    申请日:2004-04-23

    Abstract: 本发明的目的在于:提供一种能使由凹面反射镜及放电灯构成的光学装置小型化,并能防止产生阴极侧密封部上的裂缝的构造。该光学装置,由超高压放电灯、及包围该放电灯的凹面反射镜构成,其特征在于:放电灯是在由石英玻璃构成的发光部的两端连接了一对密封部、并在该发光部内封入不小于0.15mg/mm3的水银并将一对电极(3、4)的距离配置为不大于2.0mm。并且,超高压放电灯,其阳极侧密封部的长度不大于20mm,且在该阳极侧密封部插入凹面反射镜的顶部的状态下,通过含有钠成分及/或锂成分的无机系粘接剂被接触并保持,并且,该无机系粘接剂与放电灯的阳极电绝缘。

    减振构造体及装入有减振构造体的装置

    公开(公告)号:CN119384565A

    公开(公告)日:2025-01-28

    申请号:CN202380048005.9

    申请日:2023-06-19

    Abstract: 本减振构造体具备第1支承部件、第2支承部件和1个以上的减振单元。1个以上的减振单元连接在第1支承部件及第2支承部件之间,抑制对第1支承部件及第2支承部件作用的第1方向的振动。1个以上的减振单元分别包括经由铰链与第1支承部连接的第1减振芯单元,以及经由铰链与第2支承部件连接的第2减振芯单元。第1及第2减振芯单元也经由铰链连接。此外,第1及第2减振芯单元分别具有4个旋转部件,各旋转部件其从第1方向观察的情况下的位置经由被适当规定的铰链与其他部件连接。铰链的位置被适当规定,以使得在第1方向的振动作用时各旋转部件能够旋转。

    放电灯
    9.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101364523B

    公开(公告)日:2012-06-27

    申请号:CN200810145325.3

    申请日:2008-08-07

    Abstract: 本发明提供一种放电灯,在曝光装置的光源所使用的放电灯中用低熔点玻璃密封大气的进入口,能从外气阻隔金属箔。本发明的放电灯,具有:在发光管(3)的两端连设有密封管(2)的放电容器(1)、在上述发光管(3)的内部配置的电极(6、7)、在上述密封管(2)的内部配置的玻璃构件(4)、在上述玻璃构件(4)的外周面配置的金属箔(5)、以及与上述金属箔(5)电连接且插通于外部石英管(13)的贯穿孔(16)中的外部引线(9),其特征在于,在上述外部石英管(13)的贯穿孔(16)的内周面、与上述外部引线(9)的外周面之间所形成的间隙(30)中具有低熔点玻璃(20),在该贯穿孔(16)的外端具有将该贯穿孔(16)扩张所设置的凹部(14)。

    短弧型放电灯
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101958221A

    公开(公告)日:2011-01-26

    申请号:CN201010224850.1

    申请日:2010-07-07

    CPC classification number: H01J61/86 H01J61/0732

    Abstract: 本发明提供一种短弧型放电灯,其在发光管内相对配置一对阳极和阴极,提供了下述的电极结构:特别是在重复进行额定功率下的通常点灯和以比额定功率小的功率点灯的待机点灯的满载/待机点灯时,阳极前端中央部也不会比其周边环状部突出,并不产生电极材料的蒸发引起的灯的变黑。其特征在于,在阳极前端的前端中央部和周边环状部之间夹杂有由比电极材料的屈服应力小的材料构成的缓冲部件,通过该缓冲部件缓和前端中央部的热应力。

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