公开(公告)号：CN111293028A

公开(公告)日：2020-06-16

申请号：CN201911383983.0

申请日：2019-12-29

Applicant: 仲恺农业工程学院

Inventor： 李烨 ,  邓文静 ,  邹巍 ,  郑晓钿

IPC: H01J37/32

Abstract: 本发明公开一种基于随机功率确定H模式放电气压区间的方法及控制装置，通过确定等离子体处理腔室目标工作功率范围中实现H模式放电的随机功率W0，以及测量该功率下实现H模式放电的最小气压Pmin，以及最大气压Pmax；在检测等离子体处理腔室其他工作功率H模式放电模式气压区间时，待检测的气压范围将部分气压范围排除，其减小了检测范围，改善了检测效率，降低了检测复杂性。

公开(公告)号：CN111293028B

公开(公告)日：2024-04-16

申请号：CN201911383983.0

申请日：2019-12-29

Applicant: 仲恺农业工程学院

Inventor： 李烨 ,  邓文静 ,  邹巍 ,  郑晓钿

IPC: H01J37/32

Abstract: 本发明公开一种基于随机功率确定H模式放电气压区间的方法及控制装置，通过确定等离子体处理腔室目标工作功率范围中实现H模式放电的随机功率W0，以及测量该功率下实现H模式放电的最小气压Pmin，以及最大气压Pmax；在检测等离子体处理腔室其他工作功率H模式放电模式气压区间时，待检测的气压范围将部分气压范围排除，其减小了检测范围，改善了检测效率，降低了检测复杂性。