公开(公告)号：CN1708190A

公开(公告)日：2005-12-14

申请号：CN200510074602.2

申请日：2005-05-26

Applicant: 京瓷株式会社

Inventor： 牧诚一郎 ,  竹之内浩 ,  益山启幸 ,  中村恒彦

IPC: H05B3/16 ,  H05B3/02 ,  H01L21/02

Abstract: 本发明的目的是提供一种具有高度的均热性，可以几乎相同地加热装载于其上面的晶片等的加热器及使用该加热器的晶片加热装置以及其制造方法。为了达到上述目的，本发明涉及一种加热器，其包括：板状体；形成在该板状体的表面，并具有为了调整电阻值的槽部的带状电阻发热体；形成在上述板状体的表面并成为上述槽部的定位基准的定位表示部。

公开(公告)号：CN1708190B

公开(公告)日：2010-12-08

申请号：CN200510074602.2

申请日：2005-05-26

Applicant: 京瓷株式会社

Inventor： 牧诚一郎 ,  竹之内浩 ,  益山启幸 ,  中村恒彦

IPC: H05B3/16 ,  H05B3/02 ,  H01L21/02

Abstract: 本发明的目的是提供一种具有高度的均热性，可以几乎相同地加热装载于其上面的晶片等的加热器及使用该加热器的晶片加热装置以及其制造方法。为了达到上述目的，本发明涉及一种加热器，其包括：板状体；形成在该板状体的表面，并具有为了调整电阻值的槽部的带状电阻发热体；形成在上述板状体的表面并成为上述槽部的定位基准的定位表示部。