公开(公告)号：CN108573909B

公开(公告)日：2022-11-22

申请号：CN201810205964.8

申请日：2018-03-13

Applicant: 亚威科股份有限公司

Inventor： 裵莹宰 ,  金济男 ,  彭盛焕

IPC: H01L21/687 ,  H01J37/32

Abstract: 本发明涉及基板保持装置以及腔室装置，其中，所述基板保持装置包括：保持部，由磁性体构成；电永磁，根据是否施加电源，改变磁场流动更强的位置；以及夹盘，设置有所述电永磁；其中，所述保持部利用根据对所述电永磁未施加电源而产生作用的引力支撑所述基板，以使基板保持在所述夹盘。

公开(公告)号：CN108573909A

公开(公告)日：2018-09-25

申请号：CN201810205964.8

申请日：2018-03-13

Applicant: 亚威科股份有限公司

Inventor： 裵莹宰 ,  金济男 ,  彭盛焕

IPC: H01L21/687 ,  H01J37/32

Abstract: 本发明涉及基板保持装置以及腔室装置，其中，所述基板保持装置包括：保持部，由磁性体构成；电永磁，根据是否施加电源，改变磁场流动更强的位置；以及夹盘，设置有所述电永磁；其中，所述保持部利用根据对所述电永磁未施加电源而产生作用的引力支撑所述基板，以使基板保持在所述夹盘。