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公开(公告)号：CN113093480B
公开(公告)日：2024-02-13
申请号：CN202110403505.2
申请日：2021-04-15
Abstract: 本发明公开了一种并行曝光抑制超衍射极限激光直写物镜。该物镜由12片正光焦度镜片，8片负光焦度镜片共20片镜片构成，其中5片镜片采用火石玻璃、15片镜片采用冕牌玻璃构，且8片为超低色散镜片。该物镜数值孔径约为1.4、波长522nm‑790nm范围内光的垂轴色差小于5.1nm、物方视场角±4.2°，像方线视场约1mm，可将用于边缘曝光抑制超衍射极限激光直写的两波长激光聚焦在直径1μm以内，且两波长焦点在全视场范围内重合，达到边缘曝光抑制的效果，最终实现特征线宽小于衍射极限的超衍射极限激光直写。利用本发明聚焦得到的激光光斑，可广泛应用于边缘曝光抑制超衍射极限激光直写。
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公开(公告)号：CN114488491B
公开(公告)日：2022-10-28
申请号：CN202210216895.7
申请日：2022-03-07
Applicant: 浙江大学 , 福建福特科光电股份有限公司
Abstract: 本发明涉及一种大孔径激光直写物镜。包括沿光线入射方向依次设置的负光焦度的第一群组、负光焦度的第二群组、以及正光焦度的第三群组；其中第一群组为变形双高斯的结构，有利用消除垂轴色差，比如倍率色差、慧差、像差、畸变等；第二群组由双胶合透镜和三胶合透镜组成，有利于消除系统的轴向色差，第三群组中有一枚弯月型单透镜起到齐明透镜的作用，可以大幅提高数值孔径，所述第二群组为内对焦组，并沿光轴方向移动可调。本发明数值孔径NA值在0.6～1.0之间，通过移动第二群组，达到对双光子光刻胶折射率的变动进行适应，同时扩大了像方视场，且倍率色差在衍射极限内。
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公开(公告)号：CN113448179A
公开(公告)日：2021-09-28
申请号：CN202110750181.X
申请日：2021-07-02
Applicant: 浙江大学 , 福建福特科光电股份有限公司
Abstract: 本发明涉及镜头领域，特别为一种纳米激光直写物镜。包括沿光线入射方向依次设置的负光焦度的第一群组、正光焦度的第二群组、光阑、以及正光焦度的第三群组；其中各群组的焦距满足以下关系：0.65＜|fA/fB|＜3.5；4.0＜|fB/fC|＜15.0；‑120mm＜fA＜‑40mm；40mm＜fB＜80mm；5mm＜fC＜15mm，其中：fA为第一群组的焦距，fB为第二群组的焦距，fC为第三群组的焦距。本发明提供一种数值孔径NA至1.3左右且高分辨率的纳米激光直写物镜，该物镜为无限远复消色差类型系统，且无需使用超半球镜片，便于物镜的加工，能降低物镜的制造成本。
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公开(公告)号：CN113448179B
公开(公告)日：2022-05-24
申请号：CN202110750181.X
申请日：2021-07-02
Applicant: 浙江大学 , 福建福特科光电股份有限公司
Abstract: 本发明涉及镜头领域，特别为一种纳米激光直写物镜。包括沿光线入射方向依次设置的负光焦度的第一群组、正光焦度的第二群组、光阑、以及正光焦度的第三群组；其中各群组的焦距满足以下关系：0.65＜|fA/fB|＜3.5；4.0＜|fB/fC|＜15.0；‑120mm＜fA＜‑40mm；40mm＜fB＜80mm；5mm＜fC＜15mm，其中：fA为第一群组的焦距，fB为第二群组的焦距，fC为第三群组的焦距。本发明提供一种数值孔径NA至1.3左右且高分辨率的纳米激光直写物镜，该物镜为无限远复消色差类型系统，且无需使用超半球镜片，便于物镜的加工，能降低物镜的制造成本。
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公开(公告)号：CN114488491A
公开(公告)日：2022-05-13
申请号：CN202210216895.7
申请日：2022-03-07
Applicant: 浙江大学 , 福建福特科光电股份有限公司
Abstract: 本发明涉及一种大孔径激光直写物镜。包括沿光线入射方向依次设置的负光焦度的第一群组、负光焦度的第二群组、以及正光焦度的第三群组；其中第一群组为变形双高斯的结构，有利用消除垂轴色差，比如倍率色差、慧差、像差、畸变等；第二群组由双胶合透镜和三胶合透镜组成，有利于消除系统的轴向色差，第三群组中有一枚弯月型单透镜起到齐明透镜的作用，可以大幅提高数值孔径，所述第二群组为内对焦组，并沿光轴方向移动可调。本发明数值孔径NA值在0.6～1.0之间，通过移动第二群组，达到对双光子光刻胶折射率的变动进行适应，同时扩大了像方视场，且倍率色差在衍射极限内。
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