公开(公告)号：CN117334749A

公开(公告)日：2024-01-02

申请号：CN202311400300.4

申请日：2023-10-26

Applicant: 之江实验室 ,  无锡光子芯片联合研究中心

Inventor： 郭一宇 ,  杨青 ,  欧阳纯方 ,  唐文豪 ,  许航 ,  孟雷欣 ,  刘继翀 ,  刘旭

IPC: H01L29/786 ,  H01L27/146 ,  H01L21/336

Abstract: 本发明公开了一种基于TFT背板技术集成的仿生视觉传感器及其制备方法，其中光敏电阻器件与薄膜晶体管器件通过异构集成工艺实现单片集成传感器。薄膜晶体管器件采用顶底双栅结构，此结构可实现薄膜晶体管器件的阈值电压可调，增强了传感器的像素电路对工艺均一性的容忍性和提升了像素电路灵活性。本发明提出的器件制备工艺简单，易展开大面积制备，成本低廉，衬底可选用柔性材料，可实现柔性传感器的制备，且得益于TFT背板技术的成熟，适合大规模生产。