公开(公告)号：CN117908339B

公开(公告)日：2024-07-09

申请号：CN202410309866.4

申请日：2024-03-19

Applicant: 之江实验室

Inventor： 杨顺华 ,  高秀君 ,  苏晨怡 ,  施钧辉

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明公开了一种宽带飞秒激光高轴向分辨率直写装置及方法，该装置按光前进方向依次包括飞秒激光光源、第一透镜、介质、第二透镜、反射镜、数字微镜阵列、第三透镜、物镜和位移台，其中，介质位于第一透镜和第二透镜之间的焦点位置，数字微镜阵列位于第三透镜的前焦面位置，物镜的焦面位于位移台所承载的样品内；利用飞秒激光在介质中的非线性作用生成宽带飞秒激光，通过数字微镜阵列对该飞秒激光进行调制实现光场调控，并结合该宽带飞秒激光在刻写平面的时空同步聚焦效应，实现对样品的刻写。本发明能够大幅度提升轴向分辨率，实现高通量、高分辨率、任意复杂结构的三维刻写。

公开(公告)号：CN118259558A

公开(公告)日：2024-06-28

申请号：CN202410375298.8

申请日：2024-03-29

Applicant: 之江实验室

Inventor： 高秀君 ,  丁晨良 ,  王权 ,  匡翠方

IPC: G03F7/20 ,  G03F7/32 ,  G03F1/26 ,  G03F7/004 ,  G03F7/075

Abstract: 本发明公开了一种基于轴向分辨率压缩优化刻写结构表面粗糙度的方法；该方法通过引入0‑π相位掩膜调制的边缘抑制光，实现刻写结构横向和轴向分辨率的提升；同时，在光刻胶组合物中添加自由基抑制剂，进一步提高刻写的空间分辨率；本发明将光抑制效应与化学抑制效应相结合，实现平面圆盘、微透镜表面粗糙度的降低，且规避了由于轴向分辨率过低引发的弯曲轮廓器件表面的台阶状痕迹；本发明能为复杂光学器件制备中表面粗糙度的优化提供基础。

公开(公告)号：CN116642882B

公开(公告)日：2024-02-20

申请号：CN202310423940.0

申请日：2023-04-20

Applicant: 之江实验室 ,  浙江大学

Inventor： 王权 ,  刘文杰 ,  张祖鑫 ,  王瑾 ,  杨思恒 ,  陈勰宇 ,  周楠 ,  高秀君 ,  董建杰 ,  匡翠方

IPC: G01N21/84 ,  G01N21/63 ,  G01N21/31 ,  G01N21/47 ,  G01N15/10

Abstract: 一种基于脉冲调制的干涉散射泵浦探测成像系统，包括飞秒激光器、分束镜、非共轴光参量放大器、全反镜、超连续谱产生装置、电控位移台、二向色镜、反射式物镜、凸透镜、单色仪、光电探测器、锁相放大器、窄带滤光片、空间滤波器、互补金属氧化物半导体和计算机等部件。本发明还包括一种基于脉冲调制的干涉散射泵浦探测成像系统。本发明将超快光谱技术与干涉散射成像方法相结合，实现对单颗粒样品的检测，可视化能量载体的传输，分布和弛豫过程。再利用非共轴光参量放大技术调制泵浦/探测脉冲，抑制激子漂白，最大化激发态吸收过程，实现飞秒时间分辨率下的激子共振干涉信号增强，可以提升泵浦探测成像系统的灵敏度。

公开(公告)号：CN116625965A

公开(公告)日：2023-08-22

申请号：CN202310615053.3

申请日：2023-05-29

Applicant: 之江实验室 ,  浙江大学

Inventor： 匡翠方 ,  高秀君 ,  王权 ,  张祖鑫 ,  张嘉晨 ,  丁晨良

IPC: G01N21/31 ,  G01N21/01

Abstract: 利用二次扰动激光的飞秒泵浦–探测微区测量系统及方法，包括飞秒激光器、分束镜、声光调制器、全反镜、超连续谱产生套件、连续激光器、电控位移台、二向色镜、反射式物镜、凸透镜、单色仪、光电倍增管、锁相放大器、滤光片、光纤光谱仪和计算机等部件。在探测部分利用反射式物镜替换凸透镜汇聚激发光和收集信号光，提高飞秒泵浦–探测技术空间分辨精度。本发明是利用二次扰动激光的飞秒泵浦–探测系统，用于分析连续激光对样品激发态弛豫过程的影响，提供对复杂超快光物理行为的进一步理解，进而优化材料设计方案。

公开(公告)号：CN117908339A

公开(公告)日：2024-04-19

申请号：CN202410309866.4

申请日：2024-03-19

Applicant: 之江实验室

Inventor： 杨顺华 ,  高秀君 ,  苏晨怡 ,  施钧辉

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明公开了一种宽带飞秒激光高轴向分辨率直写装置及方法，该装置按光前进方向依次包括飞秒激光光源、第一透镜、介质、第二透镜、反射镜、数字微镜阵列、第三透镜、物镜和位移台，其中，介质位于第一透镜和第二透镜之间的焦点位置，数字微镜阵列位于第三透镜的前焦面位置，物镜的焦面位于位移台所承载的样品内；利用飞秒激光在介质中的非线性作用生成宽带飞秒激光，通过数字微镜阵列对该飞秒激光进行调制实现光场调控，并结合该宽带飞秒激光在刻写平面的时空同步聚焦效应，实现对样品的刻写。本发明能够大幅度提升轴向分辨率，实现高通量、高分辨率、任意复杂结构的三维刻写。

公开(公告)号：CN116642882A

公开(公告)日：2023-08-25

申请号：CN202310423940.0

申请日：2023-04-20

Applicant: 之江实验室 ,  浙江大学

Inventor： 王权 ,  刘文杰 ,  张祖鑫 ,  王瑾 ,  杨思恒 ,  陈勰宇 ,  周楠 ,  高秀君 ,  董建杰 ,  匡翠方

IPC: G01N21/84 ,  G01N21/63 ,  G01N21/31 ,  G01N21/47 ,  G01N15/10

Abstract: 一种基于脉冲调制的干涉散射泵浦探测成像系统，包括飞秒激光器、分束镜、非共轴光参量放大器、全反镜、超连续谱产生装置、电控位移台、二向色镜、反射式物镜、凸透镜、单色仪、光电探测器、锁相放大器、窄带滤光片、空间滤波器、互补金属氧化物半导体和计算机等部件。本发明还包括一种基于脉冲调制的干涉散射泵浦探测成像系统。本发明将超快光谱技术与干涉散射成像方法相结合，实现对单颗粒样品的检测，可视化能量载体的传输，分布和弛豫过程。再利用非共轴光参量放大技术调制泵浦/探测脉冲，抑制激子漂白，最大化激发态吸收过程，实现飞秒时间分辨率下的激子共振干涉信号增强，可以提升泵浦探测成像系统的灵敏度。