-
公开(公告)号：CN115332290B
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN202210843937.X
申请日：2022-07-18
Applicant: 之江实验室
IPC: H10N39/00 , H01L21/336 , H01L29/786 , H10N30/30 , H10N30/01 , C12M1/00 , C12M1/34 , G01N15/10
Abstract: 本发明公开了一种集成声流控SAW器件与薄膜晶体管器件的传感器及其制备方法、应用，其中声流控器件基于氧化锌薄膜作为压电材料，薄膜晶体管选用氧化锌作为沟道材料。本发明集成了声流控器件的筛选功能与薄膜晶体管的传感功能，能在筛选出特定生物标志物例如细胞的同时检测计数，省去了细胞标记、显微镜计数的步骤。本发明提出的器件制备方式简单，成本低廉，衬底和薄膜均为透明材料，且与传统微电子工艺兼容，适合大规模生产以及医疗上的应用。
-
公开(公告)号：CN115323042B
公开(公告)日：2024-04-09
申请号：CN202210843939.9
申请日：2022-07-18
Applicant: 之江实验室
IPC: C12Q1/6869 , G01N33/487 , B82Y5/00 , B82Y40/00
Abstract: 本发明公开了一种利用超声波实现纳米孔浸润的应用方法。区别于传统的化学表面处理、或者高压、高电流的浸润方法，本发明能利用较低功率的超声(3W)实现快速(小于五分钟)、无损、无接触式的纳米孔浸润。适用于不同直径、不同类型薄膜材料(氮化硅、氧化锌、氧化铝)纳米孔的应用场景，能够实现浸润速度超过两个数量级的提升。本发明提出的浸润方法无需使用复杂设备，化学试剂，操作简单，速度快，可用于纳米孔传感器的批量化浸润处理。同时该方法可用于设计集成化的小型设备用于现场、实时、移动化的浸润处理。
-
公开(公告)号：CN115332290A
公开(公告)日：2022-11-11
申请号：CN202210843937.X
申请日：2022-07-18
Applicant: 之江实验室
IPC: H01L27/20 , H01L21/336 , H01L29/786 , H01L41/113 , H01L41/22 , C12M1/00 , C12M1/34 , G01N15/10
Abstract: 本发明公开了一种集成声流控SAW器件与薄膜晶体管器件的传感器及其制备方法、应用，其中声流控器件基于氧化锌薄膜作为压电材料，薄膜晶体管选用氧化锌作为沟道材料。本发明集成了声流控器件的筛选功能与薄膜晶体管的传感功能，能在筛选出特定生物标志物例如细胞的同时检测计数，省去了细胞标记、显微镜计数的步骤。本发明提出的器件制备方式简单，成本低廉，衬底和薄膜均为透明材料，且与传统微电子工艺兼容，适合大规模生产以及医疗上的应用。
-
公开(公告)号：CN115323042A
公开(公告)日：2022-11-11
申请号：CN202210843939.9
申请日：2022-07-18
Applicant: 之江实验室
IPC: C12Q1/6869 , G01N33/487 , B82Y5/00 , B82Y40/00
Abstract: 本发明公开了一种利用超声波实现纳米孔浸润的应用方法。区别于传统的化学表面处理、或者高压、高电流的浸润方法，本发明能利用较低功率的超声(3W)实现快速(小于五分钟)、无损、无接触式的纳米孔浸润。适用于不同直径、不同类型薄膜材料(氮化硅、氧化锌、氧化铝)纳米孔的应用场景，能够实现浸润速度超过两个数量级的提升。本发明提出的浸润方法无需使用复杂设备，化学试剂，操作简单，速度快，可用于纳米孔传感器的批量化浸润处理。同时该方法可用于设计集成化的小型设备用于现场、实时、移动化的浸润处理。
-
-
-
Search Results
4
records
(took 0.019 seconds)
