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公开(公告)号：CN115657300A
公开(公告)日：2023-01-31
申请号：CN202211333470.0
申请日：2022-10-28
Applicant: 之江实验室
Abstract: 本发明公开了一种入射角可调的光学扫描装置及其调节方法，该光学扫描装置包括角度可调的平面反射镜、旋转位移平台、镀有金属反射膜的直角棱镜、平面反射镜；该方法为通过角度可调的平面反射镜调整入射角大小，然后通过入射光的位移对样品进行扫描，根据装置之间的位置关系，可以使从反射镜反射回来的光原路返回。本发明解决了光学扫描系统扫描困难的问题，使得扫描范围不再受限，而且入射角度的调整更加便捷，系统的分辨率和稳定性更高，实验结果更加准确；装置结构简单、紧凑、方法易操作，更易于小型化、实用化和商用化。
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