公开(公告)号：CN116429330A

公开(公告)日：2023-07-14

申请号：CN202310039377.7

申请日：2023-01-12

Applicant: 丸中机械设备有限公司 ,  丰田自动车株式会社

Inventor： 中川贡 ,  井上恭司郎

IPC: G01M3/04 ,  G01M3/20

Abstract: 本发明提供一种泄漏检查方法及泄漏检查装置，能够安全、低成本、高效率地进行将溶解有气体的液体作为探测流体且为1MPa以上的高压下的泄漏检查。泄漏检查装置包括：气体溶解部(1)，具备新液的脱气功能；液体注入/循环部(2)，向被试验体(TP)注入溶解有气体的液体；高压施加部(3)，对注入的溶解有气体的液体施加高压；泄漏检查部(4)，对因施加高压而穿过被试验体的泄漏孔并漏出至真空容器(41)内的液体蒸气中的气体进行检测；以及液体回收部(5)，释放高压而回收溶解有气体的液体。在封闭回路中进行高压下的泄漏检查的工序。

公开(公告)号：CN111433593A

公开(公告)日：2020-07-17

申请号：CN201880068502.4

申请日：2018-10-23

Applicant: 丸中机械设备有限公司 ,  三弘创拓技术有限公司 ,  国立大学法人山口大学

Inventor： 中川贡 ,  榎本和巳 ,  山本节夫 ,  栗巣普挥

IPC: G01N21/67 ,  G01M3/40

Abstract: 本发明的细长的强磁性体的阳极电极(22)呈悬臂梁状地支撑固定在筒状的可密闭的真空容器(21)中，以当对阳极电极(22)与作为阴极电极的真空容器(21)之间施加了高电压时，磁场集中在成为放电发光的区域的强磁性体阳极电极前端侧的位置的方式，配置磁场施加部件(26)，由此使施加了高电压时的放电发光局限在阳极电极(22)的前端部附近，且发光强度增大。此外，为了使磁场集中在阳极电极(22)的前端附近，有时利用磁力线容易穿过的强磁性体的软磁性材料来形成真空容器(21)，另外，除将阳极电极(22)自身设为强磁性体以外，有时仅将阳极电极的前端侧设为强磁性体、或将强磁性体构件接近阳极电极来配置。在利用所述放电发光的气体分析器中，提高检测精度，使检测下限变成10-7Pa的超高真空。