-
公开(公告)号:CN119970048A
公开(公告)日:2025-05-13
申请号:CN202510140389.8
申请日:2025-02-08
Applicant: 临港国家实验室
Abstract: 本发明属于神经科学与微纳加工领域,具体地涉及一种凸点电极及其制备方法和应用。所述凸点电极包括:柔性基底,所述柔性基底的一表面具有凸点结构阵列;柔性层,所述柔性层设置于柔性基底具有凸点结构阵列的表面上;检测电极阵列,所述检测电极阵列位于所述柔性层表面,每一检测电极包括记录位点、连线和焊盘,所述连线一端与所述记录位点连接,所述连线另一端与所述焊盘连接,每一所述记录位点对应一所述凸点结构,且所述记录位点覆盖所述凸点结构的上方和侧面;封装层,所述封装层覆盖除记录位点以外的检测电极阵列。本发明方法先对柔性基底进行修改刻蚀,避免了制备其他模板,制备方法简易快捷,减少了制备时间。