半导体装置
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110223980A

    公开(公告)日:2019-09-10

    申请号:CN201910146551.1

    申请日:2019-02-27

    Abstract: 一种半导体装置具有包括元件范围和周边范围的半导体衬底。半导体衬底包括:体区,其布置在元件范围内;p型深区,其从元件范围跨周边范围布置,从半导体衬底的上表面分布到比每个栅极沟槽的下端深的位置,并且包含端栅极沟槽;以及p型耐压区,其布置在周边范围内,并且从上表面分布到比p型深区的下端浅的位置。p型深区内的p型杂质浓度在从体区朝向p型耐压区的方向上增加。

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