公开(公告)号：CN105403178B

公开(公告)日：2018-09-04

申请号：CN201510564718.8

申请日：2015-09-07

Applicant: 丰田自动车株式会社

Inventor： 高柳顺 ,  大竹秀幸 ,  相京秀幸 ,  藤沢泰成 ,  锅岛淳男

IPC: G01B15/02

CPC classification number: G01B11/0641

Abstract: 提供一种膜厚度测量装置和方法，膜厚度测量装置包括：太赫兹波发生器(19)；棱镜(21)，该棱镜具有入射面(69)、邻接面(70)和出射面(71)，该邻接面(70)能够与包括第一膜(31a)的样品(3)的形成有第一膜(31a)的一侧上的表面邻接；太赫兹波检测器(23)，该太赫兹波检测器(23)检测从棱镜(21)的出射面(71)出射的、样品(3)的反射波的S‑偏振分量和P‑偏振分量；以及控制部(6)，该控制部(6)构造成基于反射波的S‑偏振分量的时间波形与反射波的P‑偏振分量的时间波形之间的差来确定形成在样品(3)中的第一膜(31a)的厚度。

公开(公告)号：CN105403178A

公开(公告)日：2016-03-16

申请号：CN201510564718.8

申请日：2015-09-07

Applicant: 丰田自动车株式会社

Inventor： 高柳顺 ,  大竹秀幸 ,  相京秀幸 ,  藤沢泰成 ,  锅岛淳男

IPC: G01B15/02

CPC classification number: G01B11/0641

Abstract: 提供一种膜厚度测量装置和方法，膜厚度测量装置包括：太赫兹波发生器(19)；棱镜(21)，该棱镜具有入射面(69)、邻接面(70)和出射面(71)，该邻接面(70)能够与包括第一膜(31a)的样品(3)的形成有第一膜(31a)的一侧上的表面邻接；太赫兹波检测器(23)，该太赫兹波检测器(23)检测从棱镜(21)的出射面(71)出射的、样品(3)的反射波的S-偏振分量和P-偏振分量；以及控制部(6)，该控制部(6)构造成基于反射波的S-偏振分量的时间波形与反射波的P-偏振分量的时间波形之间的差来确定形成在样品(3)中的第一膜(31a)的厚度。