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发明公开
表面加工装置以及表面加工方法无效

公开(公告)号：CN103597912A

公开(公告)日：2014-02-19

申请号：CN201180071576.1

申请日：2011-06-13

Applicant: 丰田自动车株式会社

Inventor： 小林岳人 , 上野纪幸 , 仓地克弥

IPC: H05H1/24 , F02F1/00

CPC classification number: H01J37/04 , F02F1/00 , H05H1/46 , H05H2001/466

Abstract: 本发明为一种表面加工装置以及表面加工方法，其通过使被施加于在等离子产生部（1）中所设置的导电性壳体（2）与棒状电极（3）这两个放电电极之间的主电压的频率、和被施加于导电性壳体（2）与被加工物（5）之间的偏压的频率有所不同，从而对通过等离子的照射而被形成在被加工物（5）的表面上的凹凸的形成形态进行控制。

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