膜厚测定方法和膜厚测定装置

    公开(公告)号:CN108627105B

    公开(公告)日:2020-06-09

    申请号:CN201810236094.0

    申请日:2018-03-21

    Abstract: 本发明提供膜厚测定方法和膜厚测定装置。一边输送片材、一边高精度地对形成于片材的膜的膜厚进行测定。膜厚测定装置(10)具备移位传感器(13)和膜厚运算装置(14)。移位传感器(13)在太赫兹扫描装置(12)向输送路径照射太赫兹波的一侧的相反一侧对片材(2)在厚度方向上的移位进行检测。膜厚运算装置(14)的第1处理部(14a)基于由移位传感器(13)得到的检测信号,得到沿输送路径输送的片材(2)在厚度方向上的移位速度。第2处理部(14b)基于移位速度来修正由太赫兹扫描装置(12)得到的扫描波形。第3处理部(14c)基于由第2处理部(14b)修正后的扫描波形中出现的太赫兹波的强度的峰值,算出形成于片材(2)的膜(2b)的厚度。

    膜厚测定方法和膜厚测定装置

    公开(公告)号:CN108627105A

    公开(公告)日:2018-10-09

    申请号:CN201810236094.0

    申请日:2018-03-21

    Abstract: 本发明提供膜厚测定方法和膜厚测定装置。一边输送片材、一边高精度地对形成于片材的膜的膜厚进行测定。膜厚测定装置(10)具备移位传感器(13)和膜厚运算装置(14)。移位传感器(13)在太赫兹扫描装置(12)向输送路径照射太赫兹波的一侧的相反一侧对片材(2)在厚度方向上的移位进行检测。膜厚运算装置(14)的第1处理部(14a)基于由移位传感器(13)得到的检测信号,得到沿输送路径输送的片材(2)在厚度方向上的移位速度。第2处理部(14b)基于移位速度来修正由太赫兹扫描装置(12)得到的扫描波形。第3处理部(14c)基于由第2处理部(14b)修正后的扫描波形中出现的太赫兹波的强度的峰值,算出形成于片材(2)的膜(2b)的厚度。

    气体检测装置
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106525913A

    公开(公告)日:2017-03-22

    申请号:CN201610638945.5

    申请日:2016-08-05

    Inventor: 三浦真德

    Abstract: 本发明公开了一种气体检测装置。根据本发明的气体检测装置包括:气体传感器,其基于由于要测量的气体的吸附引起的电信号的变化来检测气体;旋转体,其使气体传感器安装在旋转体上;以及电动机,其使旋转体旋转。气体传感器被设置在远离旋转体的旋转轴的位置处。电动机以恒定速度使旋转体旋转。

    气体检测装置
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN106525913B

    公开(公告)日:2019-11-05

    申请号:CN201610638945.5

    申请日:2016-08-05

    Inventor: 三浦真德

    Abstract: 本发明公开了一种气体检测装置。根据本发明的气体检测装置包括:气体传感器,其基于由于要测量的气体的吸附引起的电信号的变化来检测气体;旋转体,其使气体传感器安装在旋转体上;以及电动机,其使旋转体旋转。气体传感器被设置在远离旋转体的旋转轴的位置处。电动机以恒定速度使旋转体旋转。

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