公开(公告)号：CN107830937B

公开(公告)日：2019-07-09

申请号：CN201711287015.0

申请日：2017-12-07

Applicant: 中科院南京天文仪器有限公司

Inventor： 林冬冬 ,  李金鹏 ,  胡明勇 ,  毛羽西 ,  朱庆生 ,  毕勇 ,  郑锋华 ,  李季

IPC: G01J9/02

Abstract: 本发明公开了一种双光栅偏振点衍射干涉装置以及波前测试方法，包括分束光栅、第一偏振片、点衍射板PDP、第二偏振片、平面镜、合束光栅、空间移相组件、CCD图像传感器；双光栅偏振点衍射装置采用分束光栅进行分光，以实现后续光路的相干光调制；采用合束光栅形成共光路结构，以实现检测装置的光干涉，相干光经准直物镜入射到空间移相组件中，最后在CCD图像传感器上采集到移相量相差90°的空间移相干涉图，采用移相算法解算待测波前。

公开(公告)号：CN107830937A

公开(公告)日：2018-03-23

申请号：CN201711287015.0

申请日：2017-12-07

Applicant: 中科院南京天文仪器有限公司

Inventor： 林冬冬 ,  李金鹏 ,  胡明勇 ,  毛羽西 ,  朱庆生 ,  毕勇 ,  郑锋华 ,  李季

IPC: G01J9/02

CPC classification number: G01J9/02 ,  G01J2009/0223 ,  G01J2009/0265

Abstract: 本发明公开了一种双光栅偏振点衍射干涉装置以及波前测试方法，包括分束光栅、第一偏振片、点衍射板PDP、第二偏振片、平面镜、合束光栅、空间移相组件、CCD图像传感器；双光栅偏振点衍射装置采用分束光栅进行分光，以实现后续光路的相干光调制；采用合束光栅形成共光路结构，以实现检测装置的光干涉，相干光经准直物镜入射到空间移相组件中，最后在CCD图像传感器上采集到移相量相差90°的空间移相干涉图，采用移相算法解算待测波前。

公开(公告)号：CN107883865B

公开(公告)日：2019-10-25

申请号：CN201711096667.6

申请日：2017-11-08

Applicant: 中科院南京天文仪器有限公司

Inventor： 李金鹏 ,  刘一鸣 ,  林冬冬 ,  郑锋华

IPC: G01B9/02 ,  G06F17/16

Abstract: 本发明公开了一种用于瑞奇康芒检测的Zernike像差单位激励影响矩阵计算方法。作Zernike像差单位激励运算：设定某一平面镜面形误差Zernike系数为1，其余平面镜面形误差Zernike系数为0；由公式可重构瑞奇康芒检测光路平面镜面形误差引入的系统波相差分布；对系统波像差做Zernike拟合，可得该平面镜面形误差引入的系统波像差Zernike系数向量。在依次做完针对所有Zernike像差的单位激励运算后，可得到所有对应的系统波像差Zernike系数向量。将这些系统波像差Zernike系数向量按列排列，可得到瑞奇康芒系数影响矩阵。通过Zernike像差单位激励运算的方法来计算影响矩阵，简化了计算过程，无需取近似化公式，消除了F数的限制，同时也使得检测精度大大提高。

公开(公告)号：CN107941165A

公开(公告)日：2018-04-20

申请号：CN201711096670.8

申请日：2017-11-08

Applicant: 中科院南京天文仪器有限公司

Inventor： 李金鹏 ,  林冬冬 ,  胡明勇 ,  郑锋华 ,  朱庆生 ,  毕勇 ,  李季

IPC: G01B11/24 ,  G01B9/02

CPC classification number: G01B11/2441 ,  G01B9/02055

Abstract: 本发明公开了一种基于影响矩阵瑞奇-康芒检验的局部采样面形恢复方法，首先用干涉仪按照影响矩阵瑞奇-康芒检验的原理，在不同瑞奇角下得到两幅椭圆形压缩图样。按像素点为单位，对两幅椭圆图样中的对应点，根据其对应被检平面镜相应点实际入射角大小建立两组影响矩阵方程，而不近似使用瑞奇角。将两组影响矩阵方程组合，用最小二乘法求解得到该点Zernike系数，从而恢复该点面形数据。将该过程遍历整个被检平面镜，对被检平面镜的每个点执行上述处理，然后将各点面形数据结果综合，得到被检平面镜恢复后的面形。

公开(公告)号：CN107883865A

公开(公告)日：2018-04-06

申请号：CN201711096667.6

申请日：2017-11-08

Applicant: 中科院南京天文仪器有限公司

Inventor： 李金鹏 ,  刘一鸣 ,  林冬冬 ,  郑锋华

IPC: G01B9/02 ,  G06F17/16

Abstract: 本发明公开了一种用于瑞奇康芒检测的Zernike像差单位激励影响矩阵计算方法。作Zernike像差单位激励运算：设定某一平面镜面形误差Zernike系数为1，其余像差系数为0；由公式可重构瑞奇康芒检测光路平面镜面形误差引入的系统波相差分布；对系统波像差做Zernike拟合，可得该平面镜面形误差引入的系统波像差Zernike系数向量。在依次做完针对所有Zernike像差的单位激励运算后，可得到所有对应的系统波像差Zernike系数向量。将这些系统波像差Zernike系数向量按列排列，可得到瑞奇康芒系数影响矩阵。通过Zernike像差单位激励运算的方法来计算影响矩阵，简化了计算过程，无需取近似化公式，消除了F数的限制，同时也使得检测精度大大提高。