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公开(公告)号：CN114545031A
公开(公告)日：2022-05-27
申请号：CN202210134118.8
申请日：2022-02-14
Abstract: 本申请涉及一种原子力显微镜探针的品质因数调整方法和装置，所述方法通过获取第一曲线和第二曲线；第一曲线为根据探针的品质因数，以及第一音叉臂的第一附加物和第二音叉臂的第二附加物的质量差值得到；第二曲线为根据质量差值以及第二附加物的腐蚀时间得到；获取探针的当前品质因数，并根据当前品质因数和第一曲线，得到当前质量差值；根据当前质量差值和第二曲线，得到第二附加物的目标腐蚀时间；根据目标腐蚀时间对第二附加物进行处理，得到目标探针。该方法通过多次腐蚀微调，使第二附加物的质量非常接近第一附加物，从而起到提高探针品质因数的作用。探针是原子力显微镜的一个重要部件，探针品质因数的提高对于原子力显微镜具有重要意义。
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公开(公告)号：CN114545031B
公开(公告)日：2023-10-20
申请号：CN202210134118.8
申请日：2022-02-14
Abstract: 本申请涉及一种原子力显微镜探针的品质因数调整方法和装置，所述方法通过获取第一曲线和第二曲线；第一曲线为根据探针的品质因数，以及第一音叉臂的第一附加物和第二音叉臂的第二附加物的质量差值得到；第二曲线为根据质量差值以及第二附加物的腐蚀时间得到；获取探针的当前品质因数，并根据当前品质因数和第一曲线，得到当前质量差值；根据当前质量差值和第二曲线，得到第二附加物的目标腐蚀时间；根据目标腐蚀时间对第二附加物进行处理，得到目标探针。该方法通过多次腐蚀微调，使第二附加物的质量非常接近第一附加物，从而起到提高探针品质因数的作用。探针是原子力显微镜的一个重要部件，探针品质因数的提高对于原子力显微镜具有重要意义。
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公开(公告)号：CN113092826B
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN202110245433.3
申请日：2021-03-05
Applicant: 中山大学 , 广州中源仪器技术有限公司
Abstract: 本申请涉及一种扫描探针显微镜系统及其测量方法，首先根据实际工作模式向导电针尖自感应探针发送对应的探针激发信号使其振动，之后采集导电针尖自感应探针工作振动时的压电响应信号进行分析，得到探针本征机械振动频率变化量。最终进行反馈分析得到实际检测时所需的样品偏压信号和扫描控制信号发送至样品扫描组件，实现待测样品的测量操作。上述方案，采用带导电针尖的自感应探针来实现大气环境的扫描探针显微镜测量成像功能，并且在测量过程中利用探针本征机械振动频率变化量实现频率调制，可提高导电针尖自感应探针测量成像时的机械振动的稳定性，有利于减小导电针尖自感应探针与样品的间距，因而可用于提高静电力成像的空间分辨率。
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公开(公告)号：CN113092826A
公开(公告)日：2021-07-09
申请号：CN202110245433.3
申请日：2021-03-05
Applicant: 中山大学 , 广州中源仪器技术有限公司
Abstract: 本申请涉及一种扫描探针显微镜系统及其测量方法，首先根据实际工作模式向导电针尖自感应探针发送对应的探针激发信号使其振动，之后采集导电针尖自感应探针工作振动时的压电响应信号进行分析，得到探针本征机械振动频率变化量。最终进行反馈分析得到实际检测时所需的样品偏压信号和扫描控制信号发送至样品扫描组件，实现待测样品的测量操作。上述方案，采用带导电针尖的自感应探针来实现大气环境的扫描探针显微镜测量成像功能，并且在测量过程中利用探针本征机械振动频率变化量实现频率调制，可提高导电针尖自感应探针测量成像时的机械振动的稳定性，有利于减小导电针尖自感应探针与样品的间距，因而可用于提高静电力成像的空间分辨率。
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