公开(公告)号：CN114858835A

公开(公告)日：2022-08-05

申请号：CN202210549605.0

申请日：2022-05-20

Applicant: 中山大学 ,  南方海洋科学与工程广东省实验室(珠海)

Inventor： 孙冬柏 ,  俞宏英 ,  王少阳 ,  孟凡强

IPC: G01N23/207 ,  G01N23/085

Abstract: 本发明公开了一种金属高温变形同步辐射XRD‑XAFS的联合表征方法，样品的两端分别采用夹持器装夹固定在试验仪的环境腔室中；调整样品的位置，样品表面中心处于X射线光路位置；排出环境腔室中的空气；加热样品至设定温度；对样品加载，对样品保持设定的拉伸载荷；开启X射线发生器，X射线入射样品表面，采集X射线衍射信号和X射线吸收信号。联合表征方法能够对金属样品在高温下进行应力加载，同时入射X射线，进行同步辐射XRD和XAFS联合技术原位表征，从而原位研究高温加载条件下金属样品长程晶体结构和短程原子结构演变与高温性能间的构效关系。本发明可广泛应用于材料微观组织结构表征技术领域。

公开(公告)号：CN217638780U

公开(公告)日：2022-10-21

申请号：CN202221248422.7

申请日：2022-05-20

Applicant: 中山大学 ,  南方海洋科学与工程广东省实验室(珠海)

Inventor： 孙冬柏 ,  俞宏英 ,  王少阳 ,  孟凡强

IPC: G01N23/20008 ,  G01N23/085 ,  B01L9/02

Abstract: 本实用新型公开了一种基于X射线的高温力学平台，高温力学平台包括X射线发生器、环境腔室、试验机、应力检测器、电加热器和三自由度位移台，环境腔室的四个侧壁分别设置有入射窗口、衍射信号窗口、吸收信号窗口和温度检测窗口；试验机包括加载器、第一夹持器和第二夹持器，第一夹持器与加载器的输出端连接，第一夹持器和第二夹持器用于夹持环境腔室中的样品；加载器通过应力检测器与第一夹持器连接；电加热器用于样品加热。样品处于温度场和应力场的同时作用下，利用X射线发生器向样品射入X射线，获得样品的X射线衍射信号和X射线吸收信号，进行XRD和XAFS联用技术原位表征。本实用新型可广泛应用于材料微观组织结构测试技术领域。

公开(公告)号：CN119534327A

公开(公告)日：2025-02-28

申请号：CN202411745168.5

申请日：2024-12-02

Applicant: 中山大学

Inventor： 周舟 ,  邓淑营 ,  孟凡强 ,  张鹏

IPC: G01N21/01 ,  G01N21/956 ,  G03F1/24

Abstract: 本发明公开了一种EUV掩模缺陷检测装置，包括底板、第一基座、安装支架、位移组件和主真空组件，所述第一基座固定于底板上，所述安装支架固定于第一基座顶部，所述主真空组件固定于安装支架顶部，且主真空组件底部通过位移组件与第一基座连接，所述位移组件用于调节主真空组件的Z向位置；还包括第二基座、三角支架和扫描真空组件，所述第二基座固定于底板上，所述三角支架固定于第二基座顶部，所述扫描真空组件固定于三角支架上，且扫描真空组件通过波纹管与主真空组件连接；本发明将扫描真空腔体与主真空腔体分离的方式，使用波纹管避免刚性连接，解决了在曝光过程中由于扫描引起的振动，影响成像质量。

公开(公告)号：CN221464305U

公开(公告)日：2024-08-02

申请号：CN202323447404.9

申请日：2023-12-18

Applicant: 中山大学 ,  上海交通大学

Inventor： 孟凡强 ,  曾龙 ,  于鹏飞 ,  黄国强 ,  夏明许 ,  孙冬柏

IPC: F27B14/04 ,  F27B14/08 ,  F27B14/20 ,  F27B17/02 ,  G01D21/02

Abstract: 本实用新型涉及材料熔炼技术领域，公开了一种无容器气动悬浮熔炼装置包括气悬浮系统和主真空腔体，所述气悬浮系统用于向所述主真空腔体输入气体悬浮待熔炼样品，所述主真空腔体的一端设有并供同步辐射光进入的入射口，所述主真空腔体的另一端设有供同步辐射光射出的出射口，所述主真空腔体内设有呈锥形设置的屏蔽罩，所述屏蔽罩的大口径开口与所述出射口的法兰固定连接，所述屏蔽罩的小口径开口延伸至所述主真空腔体内并靠近待熔炼样品。与现有技术相比，本申请在主真空腔体内设置锥形屏蔽罩，最大限度地吸收主真空腔体内散射的同步辐射光线，减少样品同步辐射衍射后的杂波，提高信噪比。