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发明公开
工件搬运台车及工件加工系统以及气体供应系统及气体供应方法无效

公开(公告)号：CN102034657A

公开(公告)日：2011-04-27

申请号：CN201010505841.X

申请日：2010-09-29

Applicant: 中外炉工业株式会社

Inventor： 惠上寿雄 , 奥田雅海

IPC: H01J9/46 , H01J9/395

Abstract: 一种工件加工系统，具有消耗气体的设备(11)，在封闭的轨条上环绕移动的工件搬运台车(1)上设置储存气体的缓冲罐(13、14)，将联接器(16、17)设于可对缓冲罐(13、14)供应气体的进气流路(22、23)，工件搬运台车(1)每在轨条(R)上移动一周，通过将外部的供应流路(29、30)与联接器(16、17)连接，对缓冲罐(13、14)补充在工件搬运台车(1)环绕一周期间所需量的气体，从而可廉价且容易地使用气体。

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