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公开(公告)号：CN101110310A
公开(公告)日：2008-01-23
申请号：CN200710138705.X
申请日：2007-07-18
Applicant: 中外炉工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种充气装置，可将供给管抽成真空后充入气体，即使不设置净化装置也不会使杂质混入气体内，并可减少向外部排出的气体量。所述充气装置包括：通过主供给阀(12)连接有供给充入气体的气体源(8)并在末端上连接有应充入所述充入气体的充入容器(2)的供给管(4)；对供给管(4)内部的气体进行真空排气的真空排气构件(21)；以及通过连通阀(16、17)与供给管(4)相连的缓冲容器(14)，在连通阀(16、17)的开闭下，利用供给管(4)与缓冲容器(14)的压力差将充入气体的一部分回收到缓冲容器(14)中，再利用供给管(4)与缓冲容器(14)的压力差将缓冲容器(14)内的充入气体的一部分向供给管(4)供给。
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公开(公告)号：CN101110310B
公开(公告)日：2010-08-18
申请号：CN200710138705.X
申请日：2007-07-18
Applicant: 中外炉工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种充气装置，可将供给管抽成真空后充入气体，即使不设置净化装置也不会使杂质混入气体内，并可减少向外部排出的气体量。所述充气装置包括：通过主供给阀(12)连接有供给充入气体的气体源(8)并在末端上连接有应充入所述充入气体的充入容器(2)的供给管(4)；对供给管(4)内部的气体进行真空排气的真空排气构件(21)；以及通过连通阀(16、17)与供给管(4)相连的缓冲容器(14)，在连通阀(16、17)的开闭下，利用供给管(4)与缓冲容器(14)的压力差将充入气体的一部分回收到缓冲容器(14)中，再利用供给管(4)与缓冲容器(14)的压力差将缓冲容器(14)内的充入气体的一部分向供给管(4)供给。
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