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公开(公告)号：CN101229536B
公开(公告)日：2011-02-16
申请号：CN200710192793.1
申请日：2007-11-20
Applicant: 中外炉工业株式会社
Abstract: 本发明涉及一种涂敷涂层到衬底上的方法，其中可以有效控制通过喷嘴在衬底上喷射液体介质的涂层表面，有效控制通过液体介质形成的涂层的厚度的形成，以及可以高生产效率地保持涂层的质量控制。本发明具有如下操作序列。首先安装距离传感器6a-6c，作为测量形成在衬底1S、1P上的介质层表面LS和喷嘴4之间的距离的装置。将测试衬底1S放置在工作台2上，并且在喷嘴夹持器5相对于工作台向前移动期间通过从喷嘴喷出的液体介质对测试衬底1S进行测试涂层。在喷嘴夹持器相对于工作台向后移动期间通过距离传感器执行测量操作。喷嘴定位器3a-3c根据距离传感器执行的测量操作的结果启动，作为设定形成适当涂层的喷嘴位置的装置。液体介质L被涂至衬底1P。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101229537B
公开(公告)日：2010-11-17
申请号：CN200810003154.0
申请日：2008-01-11
Applicant: 中外炉工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种可获得高精度的膜厚分布、构造简单且维护后无需再调整的缝模及垫片。在本发明的缝模(1)中，在第一唇部(2)与第二唇部(3)的相对面上形成有歧管(7)，将垫片(4)夹持在第一唇部(2)与第二唇部(3)之间固定，形成与歧管(7)连通并将下端的开口作为输出口(10)的槽(6)，在垫片(4)上设置有厚度从两端部朝着中央部变化的锥部。
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公开(公告)号：CN101229541A
公开(公告)日：2008-07-30
申请号：CN200710152617.5
申请日：2007-09-20
Applicant: 中外炉工业株式会社
Abstract: 一种加工台，可接受和排出加工物，在将加工物放置在放置面(3)上进行加工用的固定盘(2)上形成有从放置面(3)贯通至底面的多个收容孔(4)，在收容孔(4)中将上端设有可绕水平轴旋转的输送辊(7)的输送臂(8)分别配设成既可上升，使输送辊(7)突出在所述放置面(3)上，又可下降，使所述输送辊(7)收容在所述放置面(3)的下方。
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公开(公告)号：CN101229537A
公开(公告)日：2008-07-30
申请号：CN200810003154.0
申请日：2008-01-11
Applicant: 中外炉工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种可获得高精度的膜厚分布、构造简单且维护后无需再调整的缝模及垫片。在本发明的缝模(1)中，在第一唇部(2)与第二唇部(3)的相对面上形成有歧管(7)，将垫片(4)夹持在第一唇部(2)与第二唇部(3)之间固定，形成与歧管(7)连通并将下端的开口作为输出口(10)的槽(6)，在垫片(4)上设置有厚度从两端部朝着中央部变化的锥部。
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公开(公告)号：CN101229541B
公开(公告)日：2011-06-22
申请号：CN200710152617.5
申请日：2007-09-20
Applicant: 中外炉工业株式会社
Abstract: 一种加工台，可接受和排出加工物，在将加工物放置在放置面(3)上进行加工用的固定盘(2)上形成有从放置面(3)贯通至底面的多个收容孔(4)，在收容孔(4)中将上端设有可绕水平轴旋转的输送辊(7)的输送臂(8)分别配设成既可上升，使输送辊(7)突出在所述放置面(3)上，又可下降，使所述输送辊(7)收容在所述放置面(3)的下方。
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公开(公告)号：CN101229536A
公开(公告)日：2008-07-30
申请号：CN200710192793.1
申请日：2007-11-20
Applicant: 中外炉工业株式会社
Abstract: 本发明涉及一种涂敷涂层到衬底上的方法，其中可以有效控制通过喷嘴在衬底上喷射液体介质的涂层表面，有效控制通过液体介质形成的涂层的厚度的形成，以及可以高生产效率地保持涂层的质量控制。本方法发明具有如下操作序列。首先安装距离传感器6a－6c，作为测量形成在衬底1S、1P上的介质层表面LS和喷嘴4之间的距离的装置。将测试衬底1S放置在工作台2上，并且在喷嘴夹持器5相对于工作台向前移动期间通过从喷嘴喷出的液体介质对测试衬底1S进行测试涂层。在喷嘴夹持器相对于工作台向后移动期间通过距离传感器执行测量操作。喷嘴定位器3a－3c根据距离传感器执行的测量操作的结果启动，作为设定形成适当涂层的喷嘴位置的装置。液体介质L被涂至衬底1P。
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