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公开(公告)号：CN108645343B
公开(公告)日：2019-08-20
申请号：CN201810408448.5
申请日：2018-05-02
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明涉及一种基于角锥棱镜反射的激光外差干涉测量装置与方法，包括双频激光器，第一光电接收器，第二光电接收器，第一偏振分光镜，第三偏振分光镜，第二偏振分光镜，四分之一波片，光学补偿镜，平面镜，被测角锥棱镜。该方法利用两束频率不同的空间分离入射光进行外差干涉测量，并利用光学补偿镜来平衡测量光束和参考光束的光程。在该方法中，被测角锥棱镜沿着入射光束的传播方向往复运动。本发明抑制了激光外差干涉测量中的光学非线性误差和光学热漂移误差，降低了光路准直调节的难度，提高了激光外差干涉测量的准确度。
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公开(公告)号：CN108592800B
公开(公告)日：2019-08-20
申请号：CN201810408811.3
申请日：2018-05-02
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本发明涉及一种基于平面镜反射的激光外差干涉测量装置与方法，包括双频激光器，第一光电接收器，第二光电接收器，第一偏振分光镜，第二偏振分光镜，第三偏振分光镜，四分之一波片，直角反射镜，光学补偿镜和被测平面镜。该方法利用两束频率不同的空间分离入射光进行外差干涉测量，并利用光学补偿镜来平衡测量光束和参考光束的光程。在该方法中，被测平面镜沿着入射光束的传播方向往复运动。本发明抑制了激光外差干涉测量中的光学非线性误差和光学热漂移误差，简化了光路结构，提高了激光外差干涉测量的准确度。
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公开(公告)号：CN108645343A
公开(公告)日：2018-10-12
申请号：CN201810408448.5
申请日：2018-05-02
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明涉及一种基于角锥棱镜反射的激光外差干涉测量装置与方法，包括双频激光器，第一光电接收器，第二光电接收器，第一偏振分光镜，第三偏振分光镜，第二偏振分光镜，四分之一波片，光学补偿镜，平面镜，被测角锥棱镜。该方法利用两束频率不同的空间分离入射光进行外差干涉测量，并利用光学补偿镜来平衡测量光束和参考光束的光程。在该方法中，被测角锥棱镜沿着入射光束的传播方向往复运动。本发明抑制了激光外差干涉测量中的光学非线性误差和光学热漂移误差，降低了光路准直调节的难度，提高了激光外差干涉测量的准确度。
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公开(公告)号：CN108592800A
公开(公告)日：2018-09-28
申请号：CN201810408811.3
申请日：2018-05-02
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本发明涉及一种基于平面镜反射的激光外差干涉测量装置与方法，包括双频激光器，第一光电接收器，第二光电接收器，第一偏振分光镜，第二偏振分光镜，第三偏振分光镜，四分之一波片，直角反射镜，光学补偿镜和被测平面镜。该方法利用两束频率不同的空间分离入射光进行外差干涉测量，并利用光学补偿镜来平衡测量光束和参考光束的光程。在该方法中，被测平面镜沿着入射光束的传播方向往复运动。本发明抑制了激光外差干涉测量中的光学非线性误差和光学热漂移误差，简化了光路结构，提高了激光外差干涉测量的准确度。
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公开(公告)号：CN103033251B
公开(公告)日：2015-01-07
申请号：CN201210563880.4
申请日：2012-12-21
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本发明公开了一种能量天平悬挂组件的空气阻尼定位系统，其与能量天平悬挂组件相连接，所述空气阻尼定位系统包括底座(1)，与所述悬挂组件固定连接的十字叶片(3)，以及可调直角叶片组，所述可调直角叶片组通过叶片组固定部件与底座(1)相连，所述可调直角叶片组包括至少一对可调直角叶片(2)，所述一对可调直角叶片(2)设置在所述十字叶片(3)的任一个直角面内，且该对可调直角叶片(2)分别与该直角面互相平行。本发明的定位系统能使能量天平基本保持静态，减少测量误差。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103033251A
公开(公告)日：2013-04-10
申请号：CN201210563880.4
申请日：2012-12-21
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本发明公开了一种能量天平悬挂组件的空气阻尼定位系统，其与能量天平悬挂组件相连接，所述空气阻尼定位系统包括底座(1)，与所述悬挂组件固定连接的十字叶片(3)，以及可调直角叶片组，所述可调直角叶片组通过叶片组固定部件与底座(1)相连，所述可调直角叶片组包括至少一对可调直角叶片(2)，所述一对可调直角叶片(2)设置在所述十字叶片(3)的任一个直角面内，且该对可调直角叶片(2)分别与该直角面互相平行。本发明的定位系统能使能量天平基本保持静态，减少测量误差。
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公开(公告)号：CN101819234B
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN201010156388.6
申请日：2010-04-27
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01R29/00
Abstract: 本发明为一种采用补偿器技术精密测量交流互感量的新方法。把互感量值溯源到电阻量值和频率的测量，两者的测量不确定度均可达到10-9量级甚至更高，因此测量互感的不确定度至少可达到10-8量级。目前国外文献上发表的最精密的得到标准互感量的方法是“计算互感法”，即根据对互感线圈的几何尺寸的测量结果计算出互感量。由于几何尺寸测量准确度的限制，国外方法的不确定度只能达到10-6量级。本发明采用直接数字合成技术生成多路交流信号，保证了信号的直角性。采用恒流源为互感提供激励，保证了互感和采样电阻中流过的电流始终相同。激励信号电压的变化对测量过程不产生影响。使用基于相敏检波技术的锁相放大器作为指令仪，只对与工作频率相等的信号起作用，消除了噪声、谐波的影响，指零仪分辨率可到1×10-8。本方明提出的新方法可比国外现有方法提高十倍。
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公开(公告)号：CN101510583B
公开(公告)日：2011-05-04
申请号：CN200910080067.X
申请日：2009-03-18
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本发明公开了一种含有多层二维电子气的量子化霍尔电阻器件，该器件由自下而上依次在GaAs衬底上外延生长的GaAs缓冲层、多个由n型AlxGa1-xAs与不掺杂GaAs构成的二维电子气层、n型GaAs盖帽层，以及在该n型GaAs盖帽层上依次淀积的AuGeNi合金电极和Au电极构成，其中，n型AlxGa1-xAs中的x＝0.25～0.32。本发明同时公开了一种制作含有多层二维电子气的量子化霍尔电阻器件的方法。利用本发明，可以成倍减小阵列的规模和外延片材料的消耗，降低在制作大规模阵列时半导体工艺方面的挑战，同时也增强了阵列的可靠性。
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公开(公告)号：CN101515002B
公开(公告)日：2011-01-05
申请号：CN200910080066.5
申请日：2009-03-18
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本发明公开了一种薄膜型热电转换器及测量方法，涉及电学计量技术，包括以硅片为衬底，利用低压化学气相外延方法在衬底上生长的SiO2-Si3N4-SiO2三层薄膜夹层结构，多次磁控溅射不同材料以及多次光刻、腐蚀制备的热偶、加热器和接触电极；其中，两个加热器并排放置在一个热偶的两侧。本发明的薄膜型热电转换器，测量时，使交流和直流同时分别流过两个加热器，在热偶上输出交流、直流电功率导致的温度差，直接比较交流与直流电功率，使环境温度和温度梯度的变化对测量结果影响大大降低。
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公开(公告)号：CN101201368A
公开(公告)日：2008-06-18
申请号：CN200710303719.2
申请日：2007-12-21
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本发明为一种宽频开尔文双电桥及其测量方法和自控系统和方法及应用。该电桥用1kΩ双螺线型交、直流差电阻做比例元件，并采取“十字架形”的电桥总体布局，可在工作频率从直流到100kHz的宽广范围中进行同名义值电阻的比较测量。利用该电桥和1Ω、10Ω、100Ω、1kΩ、10kΩ五种电阻量值的双螺线型交、直流差可计算电阻，测定了当前应用很广泛的1Ω、10Ω、100Ω、1kΩ、10kΩ五种电阻量值的Tinsley5685型电阻的交、直流差。今后用这五种电阻量值的Tinsley5685型电阻开展交流电阻的检定工作。
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