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公开(公告)号：CN102252614B
公开(公告)日：2014-02-26
申请号：CN201010173127.5
申请日：2010-05-17
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明提供了一种声学共鸣腔特征长度测量装置，其包括：光源部分，该光源部分具有第一激光器和第二激光器；腔长测量部分，其包括有待测长度的声学共鸣腔，其中，所述光源部分的第一激光器和第二激光器的激光在所述声学共鸣腔中产生等倾干涉环；以及数据处理分析系统，该数据处理分析系统根据所述腔长测量部分的等倾干涉环获得所述声学共鸣腔的腔长值。本发明采用激光多波长对共鸣腔的腔长进行测量，具有静态测量、绝对距离测量、非接触测量的特点，所述长度测量装置的图像处理分辨可达0.5nm，对腔长的测量精度可以达到0.03μm。
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公开(公告)号：CN102252764B
公开(公告)日：2012-12-05
申请号：CN201010173113.3
申请日：2010-05-17
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01J9/02
Abstract: 本发明提供一种激光波长实时测量装置，其包括：一参考激光器，其发出特定波长的参考激光；一待测激光器，其发出待测激光；一第一偏振分光棱镜，对所述参考激光和待测激光进行偏振分光，分光后的光束经角锥棱镜反射回第一偏振分光棱镜；一消偏振分光棱镜，用于将从第一偏振分光棱镜中出射的参考激光或待测激光分成两束状态相同的光；所述两束状态相同的光通过一偏振分光棱镜进行偏振分光；多路光电探测元件，对经过所述偏振分光棱镜分光的光束进行检测，电测系统，根据所述多路光电探测元件的测量信号来确定所述待测激光波长的相位和瞬态激光波长值。本发明的高精密实时波长计在测量原理上独特、新颖，在系统硬件组成上也有许多改变、完善之处，提高了激光光功率的利用效率，改善了波长计抗干扰能力。
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公开(公告)号：CN102252764A
公开(公告)日：2011-11-23
申请号：CN201010173113.3
申请日：2010-05-17
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01J9/02
Abstract: 本发明提供一种激光波长实时测量装置，其包括：一参考激光器，其发出特定波长的参考激光；一待测激光器，其发出待测激光；一第一偏振分光棱镜，对所述参考激光和待测激光进行偏振分光，分光后的光束经角锥棱镜反射回第一偏振分光棱镜；一消偏振分光棱镜，用于将从第一偏振分光棱镜中出射的参考激光或待测激光分成两束状态相同的光；所述两束状态相同的光通过一偏振分光棱镜进行偏振分光；多路光电探测元件，对经过所述偏振分光棱镜分光的光束进行检测，电测系统，根据所述多路光电探测元件的测量信号来确定所述待测激光波长的相位和瞬态激光波长值。本发明的高精密实时波长计在测量原理上独特、新颖，在系统硬件组成上也有许多改变、完善之处，提高了激光光功率的利用效率，改善了波长计抗干扰能力。
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公开(公告)号：CN102252614A
公开(公告)日：2011-11-23
申请号：CN201010173127.5
申请日：2010-05-17
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明提供了一种声学共鸣腔特征长度测量装置，其包括：光源部分，该光源部分具有第一激光器和第二激光器；腔长测量部分，其包括有待测长度的声学共鸣腔，其中，所述光源部分的第一激光器和第二激光器的激光在所述声学共鸣腔中产生等倾干涉环；以及数据处理分析系统，该数据处理分析系统根据所述腔长测量部分的等倾干涉环获得所述声学共鸣腔的腔长值。本发明采用激光多波长对共鸣腔的腔长进行测量，具有静态测量、绝对距离测量、非接触测量的特点，所述长度测量装置的图像处理分辨可达0.5nm，对腔长的测量精度可以达到0.03μm。
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