氦气回收装置
    1.
    实用新型

    公开(公告)号:CN203428912U

    公开(公告)日:2014-02-12

    申请号:CN201320500274.8

    申请日:2013-08-16

    Abstract: 本实用新型涉及一种氦气回收装置,包括氦气回收压缩机(30)、第一氦气回收气囊(2)和高压氦气钢瓶组(31),其中七个移动杜瓦均通过氦气回收总进口(36)依次与第一氦气回收气囊(2)、氦气回收压缩机(30)、高压氦气钢瓶组(31)管道连接,其特征在于在氦气回收总进口(36)与第一氦气回收气囊(2)之间的管道上并联一个氦气缓冲罐(1),氦气缓冲罐(1)通过真空泵(6)和氦气循环泵(7)依次与第二氦气回收气囊(3)、氦气回收压缩机(30)串联,各设备间通过氦气管道连接,在氦气缓冲罐(1)上设有真空抽口(4)、氦气纯度分析抽口(5)、压力测点和温度测点。不仅调节氦气回收系统压力,而且能分析氦气回收的纯度并及时处理。

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