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公开(公告)号：CN104913733A
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：CN201510313751.3
申请日：2015-06-10
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01B11/24
Abstract: 基于多波长激光干涉的法线跟踪式非球面测量方法与系统属于表面形貌测量技术领域；本发明包括扫描机构、多波长激光干涉测头和回转工件台三部分，被测非球面放置在回转工件台上，扫描机构采用X向导轨与Z向导轨实现XZ平面内扫描，多波长激光干涉测头通过旋转机构固定在Z向导轨末端，该测头采用多波长干涉技术，可以进行绝对距离测量，实现对台阶形状的直接测量同时保留干涉测量高精度、可溯源的特点；该测头采用位置传感器来测量被测非球面表面的斜率变化并实时调节旋转机构，使测头与被测非球面表面始终保持垂直，从而保证测头接收到足够的光信号；因此，本发明可以实现大口径、高数值孔径、大曲率及具有台阶特征的非球面元件表面形状的超精密、快速测量。
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公开(公告)号：CN104913732A
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：CN201510313715.7
申请日：2015-06-10
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01B11/24
Abstract: 基于复合激光干涉的法线跟踪式非球面测量方法与系统属于表面形貌测量技术领域；本发明包括扫描机构、复合式激光干涉测头和回转工件台三部分，被测非球面放置在回转工件台上，扫描机构采用X向导轨与Z向导轨实现XZ平面内扫描，复合式激光干涉测头通过旋转机构固定在Z向导轨末端，该测头结合单波长干涉与合成波长干涉技术进行测量，可对微小台阶形状进行直接测量同时保证非球面的高精度测量，该测头内部有一个位置传感器来测量被测非球面表面的斜率变化并实时调节旋转机构，使测头与被测非球面表面始终保持垂直，从而保证测头接受到足够的光信号，本发明可以实现大口径、高数值孔径、大曲率及具有小台阶特征的非球面元件表面形状的超精密、快速测量。
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公开(公告)号：CN104864822A
公开(公告)日：2015-08-26
申请号：CN201510313714.2
申请日：2015-06-10
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01B11/24
Abstract: 基于激光干涉的法线跟踪式非球面测量方法与系统属于表面形貌测量技术领域；本发明包括扫描机构、激光干涉测头和回转工件台三部分，被测非球面放置在回转工件台上，扫描机构采用X向导轨与Z向导轨实现XZ平面内扫描，激光干涉测头通过旋转机构固定在Z向导轨末端，激光干涉测头采用激光干涉测量原理保证非球面的高精度测量，且其内部有一个位置传感器来测量被测非球面表面的斜率变化，在测量过程中根据位置传感器的输出实时调节旋转机构，使测头与被测非球面表面始终保持垂直，从而保证测头接受到足够的光信号，本发明可以实现大口径、高数值孔径、大曲率非球面元件表面形状的超精密、快速测量。
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公开(公告)号：CN115307550A
公开(公告)日：2022-11-08
申请号：CN202210950193.1
申请日：2022-08-09
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01B11/02 , G01B9/02015 , G01B9/02055
Abstract: 可校准跟踪测量参数的相对位移测量跟踪方法与装置属于激光跟踪测量领域，本发明在不使用绝对距离测量技术条件下，结合电机的微动、PSD光斑位置测量以及平面镜对光束的反射平移等手段和操作，解算建立的光学方程式从而校准出基准距离、光斑位置测量误差和距离余弦误差这三个跟踪测量参数，特别是该发明具有在正常激光跟踪操作中激光光束被打断时能够在线校准出新的基准距离值的功能，该发明为降低激光跟踪系统复杂性和成本，提高跟踪测量精度做出必要的技术铺垫。
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公开(公告)号：CN119594893B
公开(公告)日：2025-05-16
申请号：CN202411796178.1
申请日：2024-12-09
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01B11/24 , G01B9/02 , G01B9/02015
Abstract: 本发明公开了一种激光双色差动共焦定面干涉非球面参数测量装置与方法，属于表面形貌精密测量领域，包括激光系统、差动共焦系统、干涉精密测量系统、信号处理系统；激光系统产生一束长波长激光和一束短波长激光，短波长激光进入差动共焦系统用于待测非球面表面的定位，信号处理系统根据定位调节激光双色差动共焦定面干涉非球面参数测量装置与待测非球面表面的位置，长波长激光进入干涉精密测量系统并输出待测非球面表面的电信号，信号处理系统通过处理所述电信号获得待测非球面表面的面形结果。本发明可以实现被测非球面表面精准定位和面形快速精密测量且共光路，具有高精度、高灵敏度、高分辨率以及通用性强等特点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119594893A
公开(公告)日：2025-03-11
申请号：CN202411796178.1
申请日：2024-12-09
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01B11/24 , G01B9/02 , G01B9/02015
Abstract: 本发明公开了一种激光双色差动共焦定面干涉非球面参数测量装置与方法，属于表面形貌精密测量领域，包括激光系统、差动共焦系统、干涉精密测量系统、信号处理系统；激光系统产生一束长波长激光和一束短波长激光，短波长激光进入差动共焦系统用于待测非球面表面的定位，信号处理系统根据定位调节激光双色差动共焦定面干涉非球面参数测量装置与待测非球面表面的位置，长波长激光进入干涉精密测量系统并输出待测非球面表面的电信号，信号处理系统通过处理所述电信号获得待测非球面表面的面形结果。本发明可以实现被测非球面表面精准定位和面形快速精密测量且共光路，具有高精度、高灵敏度、高分辨率以及通用性强等特点。
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公开(公告)号：CN113959358A
公开(公告)日：2022-01-21
申请号：CN202111255151.8
申请日：2021-10-27
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种基于集成阵列式波片的四象限干涉测量系统。干涉测量系统由干涉单元、信号接收单元两部分组成，激光器输出激光经偏振分光棱镜PBS分光两路，反射光经四分之一波片‑平面反射镜‑四分之一波片，变为偏振方向与PBS透射光偏振方向垂直的参考光；同时，透射光经四分之一波片‑平面反射镜‑四分之一波片，变为偏振方向沿PBS透射光偏振方向的测量光，最终得到两束光偏振夹角为90°，汇合于偏振分光棱镜PBS后进入信号接收单元，汇合光通过激光分束器分为四束，均匀照射至集成阵列式波片的四象限干涉信号探测器上。该发明解决了现有信号探测系统占据空间大、不利于集成的问题，适用于对空间及尺寸有较高要求的场景当中。
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公开(公告)号：CN104913732B
公开(公告)日：2017-11-03
申请号：CN201510313715.7
申请日：2015-06-10
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01B11/24
Abstract: 基于复合激光干涉的法线跟踪式非球面测量方法与系统属于表面形貌测量技术领域；本发明包括扫描机构、复合式激光干涉测头和回转工件台三部分，被测非球面放置在回转工件台上，扫描机构采用X向导轨与Z向导轨实现XZ平面内扫描，复合式激光干涉测头通过旋转机构固定在Z向导轨末端，该测头结合单波长干涉与合成波长干涉技术进行测量，可对微小台阶形状进行直接测量同时保证非球面的高精度测量，该测头内部有一个位置传感器来测量被测非球面表面的斜率变化并实时调节旋转机构，使测头与被测非球面表面始终保持垂直，从而保证测头接受到足够的光信号，本发明可以实现大口径、高数值孔径、大曲率及具有小台阶特征的非球面元件表面形状的超精密、快速测量。
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公开(公告)号：CN115307550B
公开(公告)日：2024-08-06
申请号：CN202210950193.1
申请日：2022-08-09
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01B11/02 , G01B9/02015 , G01B9/02055
Abstract: 可校准跟踪测量参数的相对位移测量跟踪方法与装置属于激光跟踪测量领域，本发明在不使用绝对距离测量技术条件下，结合电机的微动、PSD光斑位置测量以及平面镜对光束的反射平移等手段和操作，解算建立的光学方程式从而校准出基准距离、光斑位置测量误差和距离余弦误差这三个跟踪测量参数，特别是该发明具有在正常激光跟踪操作中激光光束被打断时能够在线校准出新的基准距离值的功能，该发明为降低激光跟踪系统复杂性和成本，提高跟踪测量精度做出必要的技术铺垫。
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公开(公告)号：CN109632471A
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201811576066.X
申请日：2018-12-22
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01N3/04
CPC classification number: G01N3/04 , G01N2203/0423
Abstract: 本发明涉及一种新型拉力试验机夹具，属于测试计量领域，包括旋转螺母、上夹块、上旋转螺母、下旋转螺母、应变计夹头、夹紧块和下夹块。所述上夹块通过插销将其与拉力试验机的中横梁上的接头连接；所述旋转螺母用于锁紧上夹块；所述上旋转螺母与上夹块通过螺纹配合，用于安装应变计的一端；所述下旋转螺母与应变计夹头通过螺纹配合，用于安装应变计的另一端；所述的应变计夹头安装于下夹块的半圆槽中，并用夹紧块将其固定；所述的下夹块通过插销与拉力试验机的底部接头相连接，旋转螺母用于锁紧下夹块。本发明结构简单，校准时便于应变计的安装与拆卸，降低了校准过程中应变计产生滑动的可能性，在一个试验过程中可实现拉伸和压缩的试验。
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