公开(公告)号：CN117923429A

公开(公告)日：2024-04-26

申请号：CN202410104176.5

申请日：2024-01-25

Applicant: 中国计量科学研究院

Inventor： 刘沂玲 ,  郝静坤 ,  王德发 ,  张彪 ,  马淑丽 ,  黄鹏 ,  李秀丽 ,  于夏晖

IPC: C01B13/10 ,  G01D21/02 ,  C01B13/11

Abstract: 本发明涉及一种高稳定性臭氧发生监控系统及装置，尤其涉及臭氧发生监控技术领域，包括：信息获取模块，用以周期性获取臭氧发生装置运行时的光池信息、气体信息和工作信息；样本构建模块，用以根据光池信息和气体信息对臭氧浓度进行分析，还用以根据臭氧浓度和工作信息构建臭氧样本数据；样本存储模块，用以对臭氧样本数据进行存储；调整优化模块，用以对功率参数的分析过程进行调整，还用以对臭氧相似数据进行提取，并根据臭氧相似数据对功率参数的调整过程进行优化；功率控制模块，用以根据功率参数对光源功率进行控制；浓度输出模块，用以对臭氧浓度进行输出。本发明实现了对臭氧发生浓度的精确监控。