公开(公告)号：CN114719979A

公开(公告)日：2022-07-08

申请号：CN202210342306.X

申请日：2022-04-02

Applicant: 中国计量大学 ,  杭州大华仪器制造有限公司

Inventor： 何正龙 ,  方波 ,  邬佳璐 ,  郑捷 ,  王震 ,  蔡晋辉

IPC: G01J3/28 ,  G01J3/02 ,  G01N21/3586

Abstract: 本发明公开了一种太赫兹波长测量与扫描成像一体化装置，包括太赫兹源、孔径光阑、离轴抛物面镜、分束镜、反射镜M2、反射镜M1，透镜、待测物体和探测器，所述装置将太赫兹波长测量与太赫兹扫描成像一体化，太赫兹波长测量与太赫兹扫描成像共用太赫兹源、光阑、离轴抛物面镜、分束镜、反射镜M2、反射镜M1、透镜和探测器，所述离轴抛物面镜、分束镜、反射镜M1三器件中心位于同一直线上。该太赫兹波长测量与扫描成像一体化装置，将太赫兹波长测量与太赫兹扫描成像进行一体化设计，共用太赫兹源、孔径光阑、离轴抛物面镜、分束镜、反射镜、透镜和探测器，实现高精度的波长测量与物体扫描成像，减小了装置体积，使装置具备功耗低、效率高的特点。