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公开(公告)号：CN118904750A
公开(公告)日：2024-11-08
申请号：CN202410950606.5
申请日：2024-07-16
Applicant: 中国计量大学
Abstract: 本发明公开了一种基于视觉检测OCR的晶圆分选机，主要涉及半导体晶圆分选领域，包括晶圆上料装置、晶圆转运装置、晶圆OCR信息检测装置、晶圆缓存装置、不合格晶圆缓存装置、控制单元。本发明的有益效果在于：提高了检测效率和检测质量，缩短生产节拍，推动晶圆分选过程中全自动化分选晶圆。
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