一种基于视觉检测OCR的晶圆分选机

    公开(公告)号:CN118904750A

    公开(公告)日:2024-11-08

    申请号:CN202410950606.5

    申请日:2024-07-16

    Inventor: 张飞 鲍昱

    Abstract: 本发明公开了一种基于视觉检测OCR的晶圆分选机,主要涉及半导体晶圆分选领域,包括晶圆上料装置、晶圆转运装置、晶圆OCR信息检测装置、晶圆缓存装置、不合格晶圆缓存装置、控制单元。本发明的有益效果在于:提高了检测效率和检测质量,缩短生产节拍,推动晶圆分选过程中全自动化分选晶圆。

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