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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112187094B
公开(公告)日：2022-10-25
申请号：CN202011164691.0
申请日：2020-10-27
Applicant: 中国计量大学
Abstract: 一种闭合式双通道力回路的高负载压电纳米位移台，包括两个或两个以上的内滑块、三个或三个以上的压电体、平台滑块、横向预紧元件、导轨，所述的平台滑块为封闭或半封闭的框架结构，内滑块沿导轨方向分布在平台滑块内部，并且在相邻的两个内滑块之间以及平台滑块前、后内壁与相邻的内滑块之间均设有压电体；平台滑台与任一内滑块之间以及任意两个内滑块间均有两条力回路，并且这两条力回路构成一闭合的环路；当内滑块或平台滑块受到这两个力回路推力的差大于它与导轨的最大静摩擦力时，它与导轨发生相对移动。本发明的优点是：兼具纳米分辨率、大行程、高负载、工作时安静无振动等特点，还具有超低温、超高真空、强磁场等极端环境兼容性。
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公开(公告)号：CN112187094A
公开(公告)日：2021-01-05
申请号：CN202011164691.0
申请日：2020-10-27
Applicant: 中国计量大学
Abstract: 一种闭合式双通道力回路的高负载压电纳米位移台，包括两个或两个以上的内滑块、三个或三个以上的压电体、平台滑块、横向预紧元件、导轨，所述的平台滑块为封闭或半封闭的框架结构，内滑块沿导轨方向分布在平台滑块内部，并且在相邻的两个内滑块之间以及平台滑块前、后内壁与相邻的内滑块之间均设有压电体；平台滑台与任一内滑块之间以及任意两个内滑块间均有两条力回路，并且这两条力回路构成一闭合的环路；当内滑块或平台滑块受到这两个力回路推力的差大于它与导轨的最大静摩擦力时，它与导轨发生相对移动。本发明的优点是：兼具纳米分辨率、大行程、高负载、工作时安静无振动等特点，还具有超低温、超高真空、强磁场等极端环境兼容性。
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公开(公告)号：CN111693202A
公开(公告)日：2020-09-22
申请号：CN202010623956.2
申请日：2020-07-01
Applicant: 中国计量大学
IPC: G01L9/00
Abstract: 本发明公开了一种基于量子隧道效应的新型压力传感器，参考样品固定在感压膜片的中心位置，在沿感压膜片中轴线的方向上，安装有探针，探针用于检测参考样品和针尖之间的隧道电流，由信号控制软件采集隧道电流信号。当有压力作用在感压膜片上时，参考样品产生微小位移，隧道电流随之改变，参考样品位移量即为感压膜片中心形变量，膜片中心形变量与压力变化呈线性关系。根据隧道电流的变化量，可测算感压膜片中心形变量，从而获得压力值。本发明的传感器所测形变量能够达到亚纳米级，对于高精度水下压力传感器的研究具有重要意义。
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公开(公告)号：CN112684210B
公开(公告)日：2025-02-18
申请号：CN202110086099.1
申请日：2021-01-22
Applicant: 中国计量大学
IPC: G01Q10/02
Abstract: 一种可重复定位的扫描探针显微镜，包括镜体、步进器、预紧部件、扫描部件和样品台；该镜体包括三个相互平行的直线导向轨道，在其中两个直线导向轨道上置有步进器，该步进器被第三个直线导向轨道通过预紧部件压在上述的两个直线导向轨道上；该步进器包括一个支撑滑块、两个内滑块和三个压电体；所述的支撑滑块的两顶端的截面均为与上述两直线导向轨道的截面相匹配的斜面，并且该支撑滑块与上述两直线导向轨道形成四点刚性接触的大力矩稳固结构。该扫描探针显微镜在粗逼近/退针过程中不产生横向偏移，它在毫米级行程往复粗逼近/后退时，探针在样品同一区域的定位偏差小于30纳米。本发明尺寸小、结构紧凑、环境兼容性强、具有可重复定位功能。
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公开(公告)号：CN112684210A
公开(公告)日：2021-04-20
申请号：CN202110086099.1
申请日：2021-01-22
Applicant: 中国计量大学
IPC: G01Q10/02
Abstract: 一种可重复定位的扫描探针显微镜，包括镜体、步进器、预紧部件、扫描部件和样品台；该镜体包括三个相互平行的直线导向轨道，在其中两个直线导向轨道上置有步进器，该步进器被第三个直线导向轨道通过预紧部件压在上述的两个直线导向轨道上；该步进器包括一个支撑滑块、两个内滑块和三个压电体；所述的支撑滑块的两顶端的截面均为与上述两直线导向轨道的截面相匹配的斜面，并且该支撑滑块与上述两直线导向轨道形成四点刚性接触的大力矩稳固结构。该扫描探针显微镜在粗逼近/退针过程中不产生横向偏移，它在毫米级行程往复粗逼近/后退时，探针在样品同一区域的定位偏差小于30纳米。本发明尺寸小、结构紧凑、环境兼容性强、具有可重复定位功能。
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