公开(公告)号：CN118306758A

公开(公告)日：2024-07-09

申请号：CN202310755413.X

申请日：2023-06-25

Applicant: 中国计量大学

Inventor： 李庆澳 ,  蒋志韬 ,  郎叶威 ,  朱晨琳 ,  钱丽娟

IPC: B65G47/248 ,  B65G43/08

Abstract: 本发明公开了一种铝箔餐盒翻转机，属于翻转机构领域，翻转单元，其包括连杆组件气缸组件，连杆组件通过连接件与气缸推杆相连接，气缸推杆适于带动连杆组件形成角度。升降单元，其包括升降组件，升降组件包括伺服伺服电机，换向减速器，联轴器，丝杆，升降单元能够驱动所述翻转单元沿所述目标方向运动，目标方向垂直于地面。检测单元其包括检测组件，检测单元利用视觉用于检测目标餐盒的形状，进而控制气缸组件带动连杆组件形成对应角度，并且控制升降组件升降的高度和速度。这样能保证翻转快速，并日适用于多种铝箔餐盒，适用范围广，结构简单，操作方便，能够实现铝箔餐盒的翻转。

公开(公告)号：CN222673000U

公开(公告)日：2025-03-25

申请号：CN202421257486.2

申请日：2024-06-04

Applicant: 中国计量大学

Inventor： 郎叶威 ,  蒋志韬 ,  冯金武

IPC: H01L21/68

Abstract: 本实用新型公开了一种晶圆预对准装置，包括机架、第一支撑件、第一驱动组件、第二支撑件、第二驱动组件、吸附机构、第三驱动组件、传感系统、控制器，传感系统包括第一传感组件、第二传感组件、第三传感组件，第一传感组件用于检测与第一受光件之间的距离，第二传感组件用于检测与第二受光件之间的距离，第三传感组件用于检测晶圆的边缘信息。本实用新型通过第一传感组件、第二传感组件和第三传感组件的配合，能够利用多组传感组件实现晶圆的圆心定位和缺口定向，具有预对准精度高、预对准效率高的优点。

公开(公告)号：CN221427699U

公开(公告)日：2024-07-26

申请号：CN202323529384.X

申请日：2023-12-22

Applicant: 中国计量大学

Inventor： 郎叶威 ,  蒋志韬 ,  冯金武

IPC: H01L21/68

Abstract: 本实用新型公开了一种晶圆预对准装置，包括真空吸盘、视觉模块、旋转平台、X轴位移平台、机械预对心模块、Z轴升降平台，所述真空吸盘对晶圆实现吸附，所述视觉模块位于真空吸盘后方，所述旋转平台位于真空吸盘下方，所述X轴位移平台位于旋转平台下方与底板固定，所述机械预对心模块与真空吸盘同心安装，所述Z轴升降平台位于真空吸盘的右侧与底板连接。该晶圆预对准装置通过调节机械预对心模块对晶圆预对心，控制旋转平台、Z轴升降平台和X轴位移平台可实现晶圆预对准，减少光学对准后运动机构介入数量及X轴位移平台移动距离，提高预对准效率和稳定性，降低成本。