公开(公告)号：CN114660131B

公开(公告)日：2024-06-21

申请号：CN202210291418.7

申请日：2022-03-23

Applicant: 中国计量大学

Inventor： 高峰 ,  王小牛 ,  王莹 ,  侯世坤 ,  康佳宁

IPC: G01N27/12 ,  C01B32/19 ,  C01B32/198

Abstract: 本发明公开了一种基于石墨烯的新型气体传感器。所述气体传感器中，以微型平整石墨基板为基础材料，通过高能激光加工手段，沿设计的路径进行加工，将加工路径中的石墨转化为石墨烯或其衍生物，加工路径之外的石墨不发生变化，加工后的结构构成一个气体传感器；其中石墨部分作为电极与外部电路相连，石墨烯部分作为气体测量单元进行气体浓度传感；其主要的工作机理是石墨烯或其衍生物在吸附气体后，电阻数值会发生变化，通过外置电路测量电阻阻值的改变量，可以得到气体浓度信息。所述气体传感器体积小、重量轻、制作方便、能够批量生产、与外部电路连接容易、可以集成在大规模集成电路中，在消费电子领域会产生极大的价值。

公开(公告)号：CN114660131A

公开(公告)日：2022-06-24

申请号：CN202210291418.7

申请日：2022-03-23

Applicant: 中国计量大学

Inventor： 高峰 ,  王小牛 ,  王莹 ,  侯世坤 ,  康佳宁

IPC: G01N27/12 ,  C01B32/19 ,  C01B32/198

Abstract: 本发明公开了一种基于石墨烯的新型气体传感器。所述气体传感器中，以微型平整石墨基板为基础材料，通过高能激光加工手段，沿设计的路径进行加工，将加工路径中的石墨转化为石墨烯或其衍生物，加工路径之外的石墨不发生变化，加工后的结构构成一个气体传感器；其中石墨部分作为电极与外部电路相连，石墨烯部分作为气体测量单元进行气体浓度传感；其主要的工作机理是石墨烯或其衍生物在吸附气体后，电阻数值会发生变化，通过外置电路测量电阻阻值的改变量，可以得到气体浓度信息。所述气体传感器体积小、重量轻、制作方便、能够批量生产、与外部电路连接容易、可以集成在大规模集成电路中，在消费电子领域会产生极大的价值。